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감사를 받은 공급업체 텅스텐 보트는 박막 증착 공정에서 흔히 사용되는 도구이며, 특히 열 증발과 같은 PVD(Physical Vapor Deposition) 기법에서 사용됩니다. 텅스텐으로 만들어진 보트 모양의 컨테이너로, 융해점이 높고 열과 부식에 대한 저항성이 있는 금속입니다.
작동 방식은 다음과 같습니다.
1.적재: 증발할 재료는 텅스텐 보트 안에 있습니다. 이 재질은 원하는 박막 조성에 따라 금속에서 세라믹까지 무엇이든 될 수 있습니다.
난방: 텅스텐 보트는 전기 저항을 통해 또는 고전류를 통과하면서 가열됩니다. 이렇게 하면 내부 물질이 가열되어 결국 기화 지점에 도달하게 됩니다.
증발: 물질이 기화 지점에 도달하면 보트에서 올라오는 증기로 변합니다. 그런 다음 증기가 보트 위에 있는 기판으로 응축되어 얇은 막을 형성합니다.
텅스텐은 녹는점이 매우 높고(3400°C 이상) 많은 물질을 증발시키는 데 필요한 고온을 견딜 수 있으므로 증발 공정에 텅스텐 보트가 선호됩니다. 또한 텅스텐은 상대적으로 불활성이기 때문에 대부분의 물질이 증발해도 반응하지 않으므로 박막 증착 과정의 순도가 보장됩니다.
텅스텐 보트에는 210, 215, 216, 308, 310, 312, 313, 315, 316, 318, 514, 515 또한 도면 또는 요구 사항에 따라 특수 크기를 사용자 정의할 수 있습니다.
| 이름 | 제품의 기호 | 크기(mm) | 최저 길이 (mm) | 최저 깊이 (mm) |
| 텅스텐 보트 특별한 크기는 맞춤 가능합니다! |
210 | 0.2 * 10 * 100 | 50 | 2 |
| 215 | 0.2 * 15 * 100 | 50 | 7 | |
| 216 | 0.2 * 25 * 118 | 80 | 10 | |
| 308 | 0.3 * 8 * 100 | 50 | 2 | |
| 310 | 0.3 * 10 * 100 | 50 | 2 | |
| 310 | 0.3 * 10 * 70 | 40 | 1.8 | |
| 312 | 0.3 * 12 * 100 | 50 | 2 | |
| 313 | 0.3 * 13 * 49 | 33 | 3.3 | |
| 315 | 0.3 * 15 * 100 | 50 | 7 | |
| 316 | 0.3 * 16 * 100 | 50 | 4 | |
| 318 | 0.3 * 18 * 100 | 40 | 3.5 | |
| 514 | 0.5 * 14 * 100 | 50 | 2.6 | |
| 515 | 0.5 * 15 * 100 | 50 | 2.6 |
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