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삼불화 질소:
(NF3) 은 무색, 무인화성, 유독성 가스로 약간 곰팡이 냄새가 납니다. 평면 패널 디스플레이, 태양광, LED 및 기타 마이크로전자 제품 제조 과정에서 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 질소트리플루오르화물은 매우 강하고 오래 지속되는 온실 가스입니다. 대기 중 부담은 2019년 1조2조 원을 넘어섰으며 20세기 후반부터 5년마다 2배로 증가했습니다.
삼불화 질소 사용:
1.고에너지 화학 레이저 가스의 플루오르네 소스
2.전자 산업(IC)의 에칭 세제와 세정제,
태양광 발전 산업
사양:
| 사양 | 회사 표준 |
| NF3 | ≥99.996% |
| CF4 | 20ppm 이하 |
| N2 | ≤ 5ppm |
| O2+Ar | ≤ 3ppm |
| 있습니다 | ≤ 1ppm |
| CO2 | ≤ 0.5ppm |
| N2O | ≤ 1ppm |
| SF6 | ≤ 2ppm |
| 습기 | ≤ 1ppm |
| HF로 익스프레스 | ≤ 1ppm |
Q: TIYU 주요 판매 제품은 무엇입니까?
A: 에어 프로덕츠는 주로 특수 가스와 가스 장비를 공급합니다.
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청두 타이유 산업용 가스 회사, Ltd
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