육불화황 제품 분류: 이름/화학: SF6 패키지 크기: 순도(%): 99.999% 핫라인 주문: +86-533-81703340 육불화황의 고순도 때문에 제품 순도가 99.999% (5N)에 달합니다. 육불화황 고순도 지수 :
항목 |
단위 |
회사 표준 |
테스트 결과 |
SF6 |
Vol. % |
≥99.995 |
99.999 이상 |
99.998 |
99.9997 |
O2+Ar |
Vol. Ppm |
≤ 5.0 |
≤ 2.0 |
1.50 |
0.06 |
N2 |
Vol. Ppm |
15.0 이하 |
≤ 2.0 |
6.00 |
0.49 |
CF4 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.5 |
0.01 |
0.01 |
있습니다 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.5 |
0.01 |
0.01 |
CO2 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.5 |
0.01 |
0.01 |
CH4 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.1 |
0.01 |
0.01 |
C2F6 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
- |
0.01 |
- |
C3F8 |
Vol. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.1 |
0.01 |
0.01 |
H2O |
Vol. Ppm |
≤ 5.0 |
≤ 2.0 |
2.2 |
1.2 |
HF로 익스프레스 |
WT. Ppm |
≤ 0.2 |
≤ 0.1 |
0.10 |
0.07 |
HF |
WT. Ppm |
≤ 1.0 |
≤ 0.8 |
0.70 |
0.37 |
|
|