중국 우수 품질 5.0n 고순도 NF3 가스

• Constituent: High Purity Gas
• Grade Standard: Electronic Grade
• Chemical Property: Combustion-Supporting Gas
• 운송 패키지: Cylinder or Tube
• 사양: filling weight 20kg/200kg/4t/8t
• 등록상표: DSW
• 모델 번호.: NF3
• 원산지: China

제품 설명

트리플루오르화물 질소 설명

삼불화 질소는 강한 산화물의 한 종류이며 무색, 유독, 가연성 입니다.
모델	트리플루오르화물 질소(강철 실린더에서 압축 가스)
UN 아니오	UN2451
위험한 물품 운송	2.2
분자 분유	NF3
분자량	71.0019
밀도	1, 540kg/m3

 
플라즈마 에칭 가스/전자 산업 등
삼불화 질소 가스 순도 99.999%

중간	NF3 ≥ 99.995% Vol. %	NF3 ≥ 99.99% Vol. %	NF3 ≥ 99.98% Vol. %	NF3 ≥99.9% Vol. %
CF4	20ppm 이하	≤ 40Vol. Ppm	≤ 100Vol. Ppm	≤ 500Vol. Ppm
N2	≤ 5Vol. Ppm	≤ 5Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm	≤ 50Vol. Ppm
O2+Ar	≤ 3Vol. Ppm	≤ 5Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm	≤ 50Vol. Ppm
CO2	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 5Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm
H2O	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1    Vol. Ppm
연속산(HF)	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 1    Vol. Ppm
SF6	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 2Vol. Ppm	≤ 2Vol. Ppm	≤ 25Vol. Ppm
N2O	≤ 1 Vol. Ppm	≤ 5Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm
있습니다	≤ 0.5 Vol. Ppm	≤ 5Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm	≤ 10Vol. Ppm

 
패키지, 보관 및 운송 세부 정보:
패키지: 고객의 요구 사항에 따라 강철 실린더, 트리플루오르화 질소 가스, CGA330, CGA640을 채웁니다. 이 중 전 세계적으로 널리 사용되는 다른 모든 밸브를 고객의 요구 사항으로 사용할 수 있습니다.