커스터마이징: | 사용 가능 |
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판매 후 서비스: | 무료 설치 및 교육, 기술 지원 |
보증: | 1년 제한 보증 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
HCVAC 전용 대규모 코팅 기술을 기반으로 하는 인라인 코팅 시스템 코터가 매우 iwde이므로 여러 기질을 동시에 처리할 수 있으므로 매우 낮은 비용으로 높은 생산성을 얻을 수 있는 응용 분야에 특히 적합하며, 대형 유리 기판에 적합합니다. HCVAC는 이미 많은 유리 제조업체에 코팅 시스템을 공급했습니다.
최고 ECONMOY 스케일:
폭이 넓기 때문에 공구 생산성이 매우 높은 반면 공정 활용도는 최대로 높아집니다. 중국에 본사를 둔 HCVAC는 적절한 규모의 환경을 제공하여 최고의 소유 비용을 제공할 수 있습니다.
공정 챔버:
프로세스 챔버에는 퍼터 다운 방식으로 서로 다른 프로세스 스테이션을 장착할 수 있습니다. 금속 및 세라믹 타겟에서 서로 다른 재료를 동시에 처리할 수 있습니다.
기술 데이터
기판: 유리
크기: 2000mm * 2400MM
적용 분야: LCD 패널, CIGS 박막 태양광(PV), CdTe 박막 광발전, 유기 태양광(PV)
목표: ITO, SIO, TIO, ZNO, CRO, azo, GZO, IGZO, 금속
전원: DC, 펄스 DC 또는 MF
Magntron 유형: 평면, 단일 또는 이중 회전 가능
전송 유형: 인라인
증착 중 기판의 방향: 수평, LEL, SEL
시스템 제어: PLC
시스템 크기: 최소 20m * 16.5M * 3.5m
1.대형 챔버와 대형 유리 사용 가능
고효율 음극 제조 기술
3.파피적 제어 기술 및 필름 균일성 보호 기술
고객의 요구에 따라 비표준 크기와 응용 프로그램을 수행할 수 있습니다 요구 사항
혁신적인 혁신 및 기술
1.세계에서 가장 인기 있는 회전식 음극에 기반한 코팅으로 스퍼터링 속도가 크게 증가했고, 타겟 사용량이 200% 이상 증가했습니다. 생산 비용을 효과적으로 줄입니다.
2.세계에서 가장 발전된 적외선 난방 시스템을 사용하여 짧은 가열 시간, 빠른 가열, 에너지 소비량이 기존 난방 파이프의 1/3도 되지 않습니다. 400°C로 균일하게 가열되는 일반 히트 파이프 진공 챔버는 적어도 2-3시간 이상 지속해서 가열해야 합니다. 하지만 진공 챔버와 적외선 가열 튜브의 특수 상황 때문에 1-1.5시간 내에 진공 챔버 예열 과정을 완료할 수 있습니다.
모드 치수 |
ZZ-1214 | ZZ-1416 | ZZ-1618 | ZZ-1820 |
1,200 * 1,400mm | 1,400 * 1,600mm | 1600 * 1800mm | 1800 * 2000mm | |
필름 유형 | 준방비 필름, 비전도용 필름, 금, 은, 빨강, 파란색, 녹색, 보라색, 7색 등 | |||
전원 유형 | 열 증발 전력, 이온 포격 전력, RF 전력 | |||
진공 챔버 구조 | 수직 이중/단일 도어, 수평 단일 도어, 펌프 시스템 위치 | |||
최고의 진공 청소기 | 8.0 * 10 -4 Pa | |||
진공 시스템 | 확산 펌프 + 루트 펌프 + 기계식 펌프 + 고정 펌프 | |||
펌프 시간 | 대기 중 펌프 - 5.0 * 10 - 6 분 | |||
피삭재 모션 모드 | 공용 회전/주파수 제어 | |||
제어 모드 | 수동/자동 복합기 모드, 터치 스크린 + PLC | |||
비고 | 고객의 요구에 따라 진공실의 치수를 설계할 수 있습니다. |