After-sales Service: | Free Installing and Training, Technical Support |
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Warranty: | One Year Limited Warranty |
유형: | PVD Vacuum Coating Machine |
코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 강철 |
인증: | CE, ISO |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
모드 치수 |
JTL-800 |
JTL-1100 |
JTL - 1250 |
800 * 1000mm |
1,100 * 1000mm |
1,250 * 1,100mm |
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코팅 모드 및 주요 구성 |
6 개의 다중 호 타겟 + 1개의 열 타겟 + 한 세트의 평면 직사각형 자그네론 스퍼터링 타겟 |
8 개의 멀티아크 타겟 + 한 쌍의 트윈(MF) 마그네트론 스퍼터링 대상 |
12 개의 다호 타겟 + 2개의 평면 사각형 자그론 스퍼터링 타겟 + 트윈 (MF) 마그네트론 스퍼터링 타겟 |
전원 |
전기 아크 전력, DC 마그네트론 전력, MF 마그네트론 전력, 필라멘트 전력, 펄스 전력, 선형 이온화 소스 |
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공정 가스 제어 |
고품질 유량계 + 전자자기 세라믹 밸브 |
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진공 챔버 구조 |
수직 단일 (측면) 도어, 펌프 시스템 위치, 이중 수냉 |
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진공 시스템 |
분자 펌프 + 모근 펌프 + 기계식 펌프(5.0 * 10 -5 Pa) 확산 펌프 + 뿌리 펌프 + 기계식 펌프(5.0 * 10 -4 Pa) |
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피삭재 제빵 온도 |
정상 온도 350 centi-degree PID 제어, 방사선 가열 |
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피삭재 모션 모드 |
공중 회전 주파수 컨트롤: 분당 0-20회 회전 |
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측정 모드 |
숫자 디스플레이 복합 진공 게이지: 대기부터 1.0 * 10 -5 Pa |
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제어 모드 |
수동/자동/PC/PLC + HMI/PC 제어 모드 4가지 선택 |
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비고 |
고객의 특수 기술 요구 사항에 따라 장비의 치수를 설계할 수 있습니다. |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체