After-sales Service: | Free Installing and Training , Technical Support, |
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Warranty: | One Year Limited Warranty |
Type: | PVD Vacuum Coating Machine |
Coating: | Vacuum Coating |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE, ISO |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
모드 치수 |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL - 1250 |
900 * 1000mm | 1,100 * 1000mm | 1,250 * 1,500 mm | |
코팅 모드 및 주요 구성 |
6 개의 다중 호 타겟 + 1 세트 열 대상 + 한 세트의 평면 직사각형 자그란 스퍼터링 타겟 |
6 개의 다호 타겟 + 한 쌍의 트윈 (MF) 마그네트론 퍼터링 대상 |
12 개의 다중 호 타겟 + 2 개의 세트 평면 직사각형 자그네론 스퍼터링 타겟 + 한 쌍 트윈 (MF) 마그네트론 퍼터링 타겟 |
전원 | 전기 아크 전력, DC 마그네트론 전력, MF 마그네트론 전력, 필라멘트 전력, 펄스 전력, 선형 이온화 소스 | ||
공정 가스 제어 | 고품질 유량계 + 전자자기 세라믹 밸브 | ||
진공 챔버 구조 | 수직 단일 (측면) 도어, 펌프 시스템 위치, 이중 수냉 | ||
진공 시스템 | 분자 펌프 + 모근 펌프 + 기계식 펌프(5.0 * 10-5Pa) 확산 펌프 + 뿌리 펌프 + 기계식 펌프(5.0 * 10-4Pa) |
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피삭재 제빵 온도 |
정상 온도 350 centi-degree PID 제어, 방사선 가열 |
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피삭재 모션 모드 | 공회전 주파수 컨트롤: 분당 0-20회 회전 | ||
측정 모드 | 숫자 디스플레이 복합 진공 게이지: 대기부터 1.0 * 10-5Pa | ||
제어 모드 | 수동/자동/PC/PLC + HMI/PC 제어 모드 4가지 선택 | ||
비고 | 고객의 특수 기술 요구 사항에 따라 장비의 치수를 설계할 수 있습니다. |
모델 (고객) |
HCCA-1215 | HCCA-1818 | HCCA-2236 | HCa-2545 | HCa-2270 |
치수 | D1250 * H1500mm | D1800 * H1800mm | D2200 * H3600mm | D2500 * H4500mm | D2200 * H7000mm |
적재 능력 | 최대 1,000 * 1,300mm | 최대 1500 * 1500mm | 시트: 1250 * 2500mm 4개/배치 |
시트: 1250 * 2500mm 6개/배치 |
시트: 1250 * 2,500mm 10피스/배치 |
기계 크기 | L5 * W5 * H2M | L6 * W6 * H2.5M | L6 * W8 * H11.5M | L8 * W8 * H12.5M | L20 * W8 * H2.5M |
전원 | 전기 아크 전원, 필라멘트 전원, 펄스 바이어스 전원 공급 장치 | ||||
공정 가스 제어 | 질량 유량계 + 전자기 세라믹 밸브 | ||||
진공 챔버 구조 |
수직 상단 개방 도어 또는 수평 개방 프론트 도어, 펌프 시스템 위치, 이중 냉각수 냉각 | ||||
진공 시스템 | 확산 펌프 + 뿌리 펌프 + 기계식 펌프(5.0 * 10-4Pa) | ||||
피삭재 제빵 온도 | 정상 온도 350 centi-degree PID 제어, 방사선 가열 | ||||
피삭재 모션 모드 | 공회전 주파수 컨트롤: 분당 0-20회 회전 | ||||
측정 모드 | 숫자 디스플레이 복합 진공 게이지: 대기부터 1.0 * 10-5Pa | ||||
제어 모드 | 수동/자동/PC/PLC + HMI/PC 제어 모드 4가지 선택 | ||||
비고 | 고객의 특수 기술 요구 사항에 따라 장비의 치수를 설계할 수 있습니다. |
워크샵:
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체