Application: | Industry, School, Lab |
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Customized: | Customized |
Certification: | CE, TUV |
Structure: | Portable |
Material: | Steel |
Type: | Tubular Furnace |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
피처 |
이중 석영 튜브 설계: 280mm(11") 직경 외측 튜브 , 254mm(10") 직경 내측 튜브. 금속 포일은 CVD 필름 증식 시 내부 튜브 표면에 감쌀 수 있습니다. 수동으로 작동하는 튜브 추출기로 내측 튜브를 쉽게 탈거할 수 있으며, 나중에 필름을 옮길 수 있습니다. 36''의 긴 고정 가열 구역이 7000cm^2 관형 표면 위를 제공하여 금속 기판에서 큰 영역의 CVD가 그래프(그래프)를 성장하게 합니다. |
가열 구역 및 온도 제어 | 가열 구역 세 개: (총 1230mm, 48" L) 구역 1: 410mm (16") 구역 2: 410mm (16") 구역 3: 410mm (16") 일정한 가열 구역: 최대 동일한 온도에서 세 개의 구역을 설정할 경우 +/- 5°C의 정확도로 길이가 36인치 30개 세그먼트 프로그래밍 가능 및 +/- 1° C 정확도의 PID 온도 제어기 빌드-인 Overtemp. 및 TC 장애 보호. Omega의 고품질 K형 열전대 |
작동 온도 | 최대 작동 온도: 1200°C < 1시간 연속 작동 온도 : 1100°C |
난방 요금 | 최대 10°C/min (RT ~ 800°C) 최대 5°C/min(800 ~ 1100°C) |
파워 | AC 220VAC 3상, 50/60Hz 최대 24kW 분말코드는 플러그 없이 포함되어 있습니다 |
처리 튜브 | 고순도 Fused Quartz 튜브 두 개가 포함되어 있습니다. 외부 튜브: 280mm O. D. X 270mm I. D. X 2, 070mm L 내부 튜브: 254mm 외경 x 244mm I. D. X 2310mm L |
밀봉된 플랜지를 진공 상태로 만듭니다 |
SS304 플랜지 한 쌍은 고온 실리콘 O-링 가스켓 세트를 통해 이중 튜브를 인클로저에 단단히 밀봉합니다 니들 밸브가 있는 KF25 포트가 오른쪽에 장착됩니다 진공 펌프 연결부 및 수동 압력 완화를 위한 플랜지 우측 플랜지는 튜브 추출기에 부착할 수 있습니다 1/4'' 튜브 압축 피팅은 가스 왼쪽 플랜지에 있습니다 수유 튜브 압력을 위한 왼쪽 플랜지의 기계식 압력 게이지 모니터링 플랜지에 부착된 Thermoblock을 통해 에 대한 열 장벽을 설정했습니다 일정한 가열 구역 진공 호환성: 기계식 펌프 기준 10^-2 토르, 분자 터보 펌프 측 10^-4 토르. 밑줄을 클릭하여 MTI Corp. 의 진공 펌프를 주문하세요 |
튜브 추출기 |
수동 작동 튜브 추출기를 우측 플랜지에 부착하여 프로세스가 완료되면 필름 제품이 있는 10'' Dia. Inner 튜브를 검색할 수 있습니다. |
용광로 치수 | 5400L x 770W x 1500H mm (튜브 추출기 포함) |
순 중량 | 최대 600kg |
보증 | 전기 부품에 대한 1년 제한 보증 (처리관, O-링, 가열 요소와 같은 소모품은 보증이 적용되지 않습니다. ) |
규정 준수 | CE 인증 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체