비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 3개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터(RF/DC 전원 공급 장치 포함 최대 3개의 기질과 웨이퍼를 동시에 퍼뜨려줍니다
VTC-600-3HD 는 조합형 플라즈마 스퍼터링 시스템으로 2'' 마그네트론 스퍼터링 소스 3개와 RF/DC 전원 공급 장치 3개가 있습니다. 이러한 퍼터링 시스템은 최대 3개의 서로 다른 타겟 재료를 함께 스퍼터링 할 수 있으며 기질 전체에 다양한 조성 프로파일을 생성할 수 있습니다(예: 리튬 이온 충전식 배터리용 3원 재료). 이 시스템은 또한 Ferroelectric, alloy, 반도체, 세라믹, 유전체, 광학, 산화물, 하드, PTFE 등
사양
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입력 전원 |
단상 220VAC 50/60Hz 2000W(진공 펌프 및 수냉기 포함) |
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소스 전원 |
세 개의 스퍼터링 전원이 하나의 제어 박스에 통합되어 있습니다. DC 소스: 금속 재질 코팅용 500W 전원 RF 소스: 300W 전력, 비전도성 물질 코팅의 경우 13.56MHz 주파수 |
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마그네론 퍼터링 헤드 |
물 냉각 재킷과 함께 2" 마그네론 스퍼터링 헤드 3개 셔터가 포함되어 있습니다 하나의 돌출형 헤드 모델도 사용 가능합니다. 목표 크기 요건: 2" 직경 두께 범위: 금속성 및 비전도성 타겟(지지판 포함) 모두 0.1 - 5mm 1개의 스테인리스 스틸 대상과 1개의 연구 등급 Al2O3 대상 데모 테스트용으로 포함되어 있습니다 요청 시 추가 비용으로 2" 스퍼터링 타겟(또는 백킹 플레이트)을 사용할 수 있습니다. 추천 스퍼터링 레시피 및 유용한 팁 맞춤형 코터: DC-One RF 2개, RF-One DC 2개, DC 3개, RF 3개 옵션: 148cm RF 케이블은 추가 비용으로 주문할 수 있습니다. |
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진공 챔버 |
진공실: 300mm 직경 x 300mm 높이, 스테인리스 스틸 재질 뷰포트: 100mm Dia. 유리로 된 두 조각 고정 1개, 청소 및 교체를 위한 분리 가능 1개 공압 파워 폴이 있는 힌지형 뚜껑으로 대상을 쉽게 정할 수 있습니다 변화 |
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샘플 스테이지 |
샘플 홀더는 회전 및 가열 가능한 단계로 구성되어 있습니다 구리 커버가 있는 세라믹 히터 샘플 홀더 크기: 140mm Dia. For. 최대 4" 웨이퍼 회전 속도: 1 - 20rpm의 조절식으로 균일하게 코팅 처리 홀더 온도는 RT에서 500°C까지 조절할 수 있습니다 최대(최대 2시간) 디지털 온도 컨트롤러를 통한 정확도 +/- 1.0°C |
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가스 흐름 제어 |
이를 위해 두 개의 정밀 질량 유속 제어기(MFC)가 설치되어 있습니다 두 가지 유형의 가스 입구 유량: 0 - 200mL/min & 0 - 100ml/min 터치스크린 제어판에서 조정 가능 진공 해제를 위해 흡기 밸브가 장착됩니다 |
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진공 펌프 스테이션 |
이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있습니다. 코터 스파터링(cuttering cater)은 역 위에 놓을 수 있습니다 80L /S 속도의 고속 터보 펌프는 과 함께 사용됩니다 2단 기계식 펌프(220L/min) 최대 진공 레벨과 빠른 펌핑 속도 챔버에 연결된 표준 진공 레벨: < 4.0E-5 Torr. 있습니다. (챔버 베이킹 포함 1.0E-6 토르) 150L/S 고속 터보 펌프를 선택하면 챔버( 베이킹 시 6x10-7 토르)가 있는 10-6토r에 진공 상태가 될 수 있습니다. 최대 10^-7 토르의 초고진공의 경우 터보 펌프 외에 게터 펌프(100L/s H2 & O2)가 필요합니다. |
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물 냉각기
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디지털 온도 제어 재순환 냉각수 냉각기가 하나 포함되어 있습니다. 냉동 범위: 5 ~ 35°C 유량: 16L/min 펌프 압력: 14 psi |
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전체 치수 |
뚜껑 닫힘: 48" × 28" × 32" 뚜껑 열림: 48" × 28" × 37" |
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혼합기 순 중량 |
160kg |
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선적 중량 및 치수 |
총 3개의 팔레트 365lbs, 48" x 40" x 45" 390lbs, 48" x 40" x 49" 210lbs, 48" x 40" x 30" |
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규정 준수 |
CE 인증 |
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보증 |
1년 제한 보증 및 평생 지원 |
자세한 사진 
포장 및 배송:
플라스틱 종이 안에 들어 있고 폴리폼 채움, 나무 상자 밖에 있거나 필요에 따라.
고객의 요청에 따라 배송 및 운송 일반적으로 우리의 운송 방법은 바다, 항공 또는 철도 수송 입니다.
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