판매 후 서비스: | 온라인 비디오 |
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보증: | 1년 |
유형: | 코팅 생산 라인 |
코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 강철 |
인증: | CE |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
세 개의 타겟 자그네론 스퍼터링 코팅 장비는 표준화, 모듈화, 맞춤화의 특성을 가진 우리 회사가 독자적으로 개발한 비용 효율적인 자그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 이 장비는 단일 레이어 또는 다층 퍼로전기 필름, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광막, 산화막, 하드필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름, DC 전원 공급 장치는 금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있고, RF 전원 공급 장치는 비금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있으며, 세 개의 타겟은 다중 층 또는 다중 코팅의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 유사한 장비와 비교했을 때 3개의 대상이 되는 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 작은 볼륨과 간편한 작동의 이점도 있습니다. 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
진공 PVD 코터의 사양:
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 머신 (DC 전원 공급 + RF 전원 공급) | ||
예제 표 | 스퍼터링 모드 | 위쪽으로 스퍼터링, 샘플 스테이지는 스퍼터링 타겟 위에 위치함; 중앙 상단 설정 샘플 홀더, 셔터 1개 |
샘플 홀더 | φ150mm | |
컨트롤 정확도 | ±1ºC | |
난방 범위 | 실내 온도 ~500ºC | |
조절 가능한 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
대상 기본 거리 조정 가능 | 표적과 기질 사이의 거리는 일 수 있습니다 전기적으로 조정됨 | |
마그네트론 표적 총 |
대상 평면 | 원형 평면 대상 |
퍼터링 진공 | 10Pa ~ 0.2Pa | |
타겟 직경 | 50 ~ 50.8mm | |
대상 두께 | 2 ~ 5mm 참고: 표적이 자기 물질인 경우(예: Fe, Co, Ni) 두께가 1.5mm 이상일 수 없으며 강한 자기 퍼터링 건이 필요합니다. 추가 요금이 필요합니다. |
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절연 전압 | 2000V 이상 | |
수량 | 2 인치 * 3; 각 건마다 셔터가 있습니다 | |
케이블 사양 | SL-16 | |
목표 머리 온도 | 65°C 이하 | |
진공 챔버 |
내벽 치료 | 전해 광택 |
챔버 크기 | φ300mm × 350mm | |
챔버 재료 | 304 스테인리스 스틸 | |
관찰 창 | 석영 창문, 직경, 직경, 100mm(셔터 포함 | |
씰링 방식 | 바이턴 씰 | |
열기 방법 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 제어 시스템 |
흐름 제어 | 3방향 질량 유량계: 산소: 범위 0 ~ 100SCCM 아르곤 가스: 0 ~ 200SCCM 범위 질소: 0 ~ 500SCCM 범위 (참고: 산소 공급이 없는 환경을 더 높은 수준으로 유지하기 위해서는 진공 챔버를 고순도 불활성 가스로 3번 이상 청소해야 합니다.) |
가스 종류 | 아르곤, 질소, 산소 및 기타 불활성 가스 | |
제어 밸브 유형 | 솔레노이드 밸브 | |
제어 밸브 정적 상태 | 보통 닫혀요 | |
선형성 측정 | ± 1.5% F.S | |
측정 반복성 | ± 0.2% F.S | |
응답 시간 측정 | ≤ 8초(T95) | |
작동 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
작동 온도 | (5 ~ 45) ºC | |
바디 재질 | 스테인리스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출 비율 | 1 × 10 - 8Pa m3/s | |
파이프 조인트 | 압축력 조정 중 1/4이(가) 실패했습니다 | |
입력 및 출력 신호 | 0 ~ 5V | |
전원 공급 장치 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
전체 치수(mm) | 130(폭) × 102(높이) × 28(두께) | |
통신 인터페이스 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
DC 전원 공급 장치 | 전원 공급 장치 | 500W |
출력 전압 | 0 ~ 600V | |
최대 출력 전류 | 1A | |
타이밍 길이 | 65000 S | |
시작 시간 | 10 S | |
수량 | 2세트 | |
RF 전원 공급 장치 | 전원 공급 장치 | 500W |
전원 출력 범위 | 0W-500W, 자동 일치 | |
최대 반사 출력 | 100W | |
RF 주파수 | 13.56MHz +/- 0.005% 안정성 | |
파워 안정성 | 5W 이하 | |
조화 부품 | 50dbc 미만 | |
수량 | 1세트 |
2005년에 설립된 정저우 CY Scientific Instrument Co., Ltd.는 실험실 기술 연구 장비의 개발 및 생산을 전문으로 하는 회사입니다. 제품은 혼합, 압착, 연소, 절단, 접지, 광택, 코팅, 분석 장비 및 관련 소모품 제품에는 실험실 소결 장비, 코팅 장비 등이 포함됩니다. 현재, 이 장비는 미국, 유럽, 동남아시아 등 25개 국가와 지역으로 수출되었으며 다양한 과학 연구 단위에서 좋은 평가를 받고 있습니다.
저희는 기술 연구 개발 팀을 보유하고 있으며, 기술자의 수는 33명이고, 150명, 500평방 미터 이상의 사무실 공간을 보유하고 있습니다. 이 공장은 정저우 하이테크 구역 전자 산업 공원에 위치한 약 1,500 평방 미터의 지역을 담당합니다. 이 제품은 주로 연구 시장에 위치해 있으며, 대학과 대학 연구실에서 과학 연구를 제공하고, 필요에 따라 제품을 맞춤화할 수도 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A.T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
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