비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 | 구조 및 특징 | 손쉬운 세척과 시료 부하를 위한 6" OD 석영 챔버2" 균일한 필름 코atingTungsten 코일 히터용 DIA 회전 가능 샘플 홀더 최대 1700°C의 고온 코팅에 대해 반추 도가니(alumina crucible) 30개의 프로그램 가능 세그먼트 및 +/- 1°C를 사용한 온도 제어 저주받은 진공 청소기는 최대 1.0E-5 Torr까지 가능합니다 터보 호박 가스 흐름 포트 및 밸브 옵션이 내장되어 있습니다 챔버 퍼지 및 CVD 가능성 |
| 입력 전원 | 입력 전압: 208-240VAC 50/60Hz, 단일 위상 입력 전원: 500WOutput Power: 최대 전류 40A 권장 작동 전류 < 30 APower 케이블이 플러그 없이 포함되어 있습니다 |
| 온도 제어 및 히터 | 열전대가 있는 텅스텐 코일 히터는 반추 가니 표준 S형 열전대(기본 제공 및 설치) 바닥에 내장되어 있습니다. - 200°C-1500°C에서 가열되는 온도 제어기와 프로그래밍이 가능한 30개 세그먼트 및 +/- 1°C 저주입니다. 온도 제어기의 시간 설정은 초 단위입니다. 온도 상승/냉각 속도를 1200ºC 이하로 0.3ºC/s(또는 20ºC/min)로 제한하고 , 1200-1700ºCFC에서 0.15ºC/s(또는 10ºC/min)로 제한하거나, 1300ºC 이상으로 연속 가열하는 것이 좋습니다 . 하단 플랜지 O-링의 사용 수명을 유지하려면 작동 시간을 1시간 미만으로 제한하십시오. 탄소 코팅에 필요한 경우 사용자가 열전대를 제거하고, 산화 탄소 블록을 제거할 수 있습니다. 그리고 알루미늄 도가니, 증발 물질을 텅스텐 코일 히터에 직접 적재하고, 현재의 수동 제어 MODeFour alumina 도가니(최대 1700°C)와 두 개의 텅스텐 코일 히터가 포함되어 있습니다. |
| 시료 홀더 | 50mm 직경 샘플 스테이지와 셔터는 상단 플랜지에 설치됩니다. 회전 속도: 5rpm시료가 샘플 홀더에서 증발 소스까지의 거리는 60mm에서 100mm 사이로 조정할 수 있습니다 |
| 필름 두께 모니터(옵션) | 정밀 석영 두께 센서는 선택 사항입니다. 자세한 내용을 보려면 그림 1과 2를 클릭하십시오. 챔버에 내장하여 0.10 Å 정확도로 즉각적인 필름 두께 모니터링을 제공할 수 있습니다. LED 디스플레이 장치 |
| 진공 | KF25 진공 포트는 진공 호박을 연결하기 위해 설치최고 진공은 밤 사이에 펌핑하여 4.0E-6 토r 미만에 도달할 수 있습니다. 코팅에는 Turbomolecular 펌프식 진공 펌프가 필요합니다. 다음 제품 옵션 중 진공 펌프 없음 을 선택하십시오. 부식 방지 정전 용량 다이어프램 게이지는 증기 트랩이 있는 최대 1.0E-6 TorrDouble Stage 로터리 베인 진공 펌프에 포함되어 있어 오일 미스트를 제거합니다. 이 진공 펌프는 금, 은, 유기 물질 등의 비활성 금속 물질을 증발시키는 데 최대 1.0E-2 Torr까지 도달할 수 있습니다. 부식 방지 정전 용량 다이어프램 게이지가 포함되어 있습니다 |
| 가스 입구 | a. ) 챔버 퍼지 또는 성형 가스 처리를 위해 1/4개 튜브 피팅이 내장되어 있습니다 b. ) 니들 밸브 하나는 가스 유류율을 제어하기 위해 내장되어 있습니다 |
| 규정 준수 | CE 인증서 |
| 보증 | 1년 제한 보증 및 평생 지원 |
| 순 중량 | 50kg |
| 선적 중량 및 치수 | 130lbs, 40" x 30" x 32" |
