오일하거나하지: | 기름 |
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구조: | 로타리 Vaccum 펌프 |
배출기 방법: | 긍정적 인 변위 펌프 |
진공도: | 높은 진공 |
일 함수: | 포어 펌프 |
근무 조건: | 드라이 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
tmp 펌핑 속도 | N2(62L/S) | 이(55L/S) |
가스 처리량, 최대 | 100scm | 80scm |
최대 흡입 압력 | 10Pa | 10Pa |
최고의 압력 | 3.5x10-6Pa 미만 | 5x10-7Pa 미만 |
플랜지(인치) | DN63 ISO-K/DN63 CF | |
플랜지(바이패스) | DIA. 10 빠른 연결 | |
플랜지(OUT) | DIA. 8 빠른 연결 | |
플랜지(벤트) | DIA. 8 빠른 연결 | |
회전 속도 | 72000min - 1(±0.5 ≤) | |
TMP 실행 시간 | 1.8min 이하 | |
TMP 실행 지연 | 1-30분 | |
전진공 펌프 | 다이어프램 펌프 | 오일 밀봉 펌프 |
펌핑 속도 최고의 압력 |
0.2L/S 300Pa |
0.5L/s 0.67Pa |
냉각 방법 | 공기 | |
베이크 아웃 온도 | ≤ 100°C | |
소음 수준 | 55dB(A) 미만 | |
허용되는 자기장, 최대 | 3mT 미만 | |
주변 온도 | 5-40ºC | |
주 공급 | 220VAC(±10%) | |
전력 소비량 (비적재) |
다이어프램 펌프 255W |
오일 밀봉 펌프 280W |
무게 | 다이어프램 펌프 16kg |
오일 밀봉 펌프 21KG |
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