PECVD 플라즈마 강화 화학물질이 결합된 실험실 이중 구역 CVD 장비 증기 탈착 시스템

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• 인증: CE
• 구조: 수평 타입
• 상표: Cyky
• 제품 이름: PECVD 튜브 용광로 시스템
• 최고 온도: 1200c
• 튜브 재질: 석영 튜브
• 가열 소자: 저항 와이어
• 가열 구역: 3개 구역
• 가열 구역 길이: Per 400mm
• 가스 유량계: 3채널
• RF 생성기: 300W
• 주파수: 13.56MHz
• 운송 패키지: Wooden Case
• 등록상표: cykyfurnace
• 원산지: China
• 세관코드: 85141090
• 생산 능력: 500 Sets Per Month

제품 설명

제품 설명

PECVD  튜브용 플라즈마 강화 CVD 튜브 용광로/PECVD 시스템 소개  용광로

 

PECVD PE 케미칼 베이퍼 디포지션

               은( 는) 조각 가능한 메커니즘이 있는 저렴하고 컴팩트한 PECVD(플라즈마 고급 화학 기체증제거) 튜브 용광로 시스템입니다.      300W RF 플라즈마 발생기,  2" O.D 분할 튜브 용광로 및   통합 슬라이드 가능 레일로 구성되어                       있어 고온 상태에서 시료를 즉시 노출시키기 위해 용광로를 예열하고 샘플 구역으로 밀어넣을 수 있습니다 .           이 시스템은 옵션을 사용하여 고급 모델로 업데이트할 수 있습니다.               한정된 예산으로 혁신을 이룰 수 있는 이상적인 도구입니다 .

 

PECVD 장비의 특징

 

     1.기존의 CVD에 비해 온도 처리가 더 낮습니다.   

      2.미끄럼 연소로(sliding 용광로)를 사용한 높은 가열 및 냉각 속도  

 3.높은      /낮은 주파수 혼합 기술로 필름 응력을 제어할 수 있습니다.   

    4.공정 조건을 통해 화학량측정을 제어합니다.  

         SiOx, SiNx, SiOxNy 및  Amorphous 실리콘  (a-Si:H) 증착을 비롯한 다양한 물질 증착을 수행할 수 있습니다.

 

PECD 장비의 기술 매개변수

연소로 튜브	입력 전원: 208 - 240V AC, 1.2kW 최대  작동 온도 1200°C  , 60  분 미만    연속 가열을 위한 최대 1100°C 고순도  석영 튜브 2" OD x 1.7" ID x  39.4" 길이     30세그먼트 프로그래밍 가능 정밀 디지털 온도 제어기  8"(200mm), 단일 영역       1000°C에서 60mm(+/- 1°C
플라즈마 RF 발생기	출력 전력:                5-300W 조정식, ±1% 안정성 RF 주파수:           13.56MHz  ± 0.005% 안정성 반사 출력:       최대 200W 일치:                 자동 RF 출력 포트:        50Ω , N-유형, 암 소음:                      <50dB .   냉각:                    공기 냉각   전원 :                     208-240VAC, 50/60Hz
진공 플랜지 및 피팅	진공 플랜지 세트는    스테인레스강으로 제조됩니다   304   좌측 플랜지 어셈블리에는   KF-25 진공 포트 1개,   KF-25 2개가 포함되어 있습니다   퀵 클램프,  KF-25 직각  밸브,  KF-25 진공 벨로즈,  플랜지    1/4 의 외를 지지합니다   호스 피팅 ,  니들 밸브 오른쪽 플랜지 어셈블리에는   디지털 해적 게이지 , 1/4 의 O.D가 포함되어 있습니다   튜브 피팅, 1/4"  피드스루 및  니들 밸브
진공 펌프	AC 220V 50Hz   1 / 2HP  375W 2L  /S  또는 120L /m   오일 트랩 (흡입구) 과 배기 필터 (배출구)  가 장착되어 있습니다. 최대 진공:  10-2 토르
보증	리프트 시간 지원을 포함한 1년 제한 보증  (그러한 소모성 부품     처리용 튜브에는  O-링과  가열 소자가   포함되지 않습니다     보증)

 

Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

 

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A.  제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

 

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

 

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

 

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.

 

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.