After-sales Service:	Online Support
Warranty:	1 Year
유형:	세라믹 난방 장비
인증:	CE, ISO
구조:	Coating System
상표:	Cyky

컴팩트한 구조
입력 전원	220VAC 50 / 60Hz, 단상 2000W(펌프 포함)
소스 전원	두 개의 스퍼터링 전원이 하나의 제어 박스에 통합되어 있습니다 DC 소스: 금속 재질 코팅용 500W RF 소스: 비금속 재질 코팅용 자동 도료 장착 600W(중앙) 컴팩트한 300 RF 소스를 추가 비용으로 사용할 수 있습니다
마그네론 퍼터링 헤드	수냉식 자켓이 있는 2인치 마그네론 스퍼터링 헤드 두 개가 있습니다 포함 한 개는 비전도성 물질에 대한 RF 전원 공급 장치에 연결되어 있습니다 또 다른 하나는 코팅을 위해 DC 스퍼터링 전원에 연결되어 있습니다 금속 재질 목표 크기 요건: 2" 직경 두께 범위: 금속 및 비전도성 표적에 대해 0.1 - 5mm 스테인리스 스틸 하나와 Al2O3 세라믹 타겟 하나가 포함되어 있습니다 데모 테스트용 수냉이: 10ml/min의 물 흐름이 필요하며 16ml/min의 디지털 제어 재순환 물 냉각기는 두 마자간 스퍼터링 헤드를 모두 냉각하기 위해 포함되어 있습니다 맞춤형 코터: DC 헤드 2개(RF 스퍼터링 없음), RF 헤드(DC 스퍼터링 없음), RF 헤드 3개(요청 시 사용 가능
진공 챔버	진공실: 스테인레스강으로 제작된 300mm 직경 x 400mm 높이 관찰 창: 직경 100mm 에어 스프링 스포츠의 경첩식 커버 대상 교환은 쉽습니다
시료 홀더	샘플 홀더 크기: 직경 140mm 최대 4" 웨이퍼 시료 홀더 회전 속도는 조절 가능합니다. 1 - 20rpm으로 코팅이 균일합니다 홀더 온도는 RT에서 500°C로 조절할 수 있습니다 정확도 +/- 1.0°C
가스 흐름 제어	2개의 정밀 디지털 MFC(질량 유속 제어기) 두 가지 유형의 가스를 사용할 수 있도록 설치됩니다 기입했습니다 유량: 200ml/min 최대 유량은 6" 터치 스크린 컨트롤에서 조정할 수 있습니다 패널
진공 펌프 스테이션	고속 터보 진공 펌프 시스템(독일에서 제작)은 진공 챔버에 직접 설치되어 진공 수준이 최대로 높아집니다 중부하 작업용 2단 기계식 펌프가 터보에 연결되어 있습니다 펌프 속도 향상 이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있고, 작은 스퍼터링 코터가 포함되어 있습니다 역 위에 놓을 수 있습니다 최대 진공 레벨: 챔버 베이킹 토르 10^-6
두께 모니터	챔버에 정밀 석영 두께 센서 1개가 내장되어 있습니다 0.10 Å 정확도로 코팅 두께를 모니터합니다 챔버 외부의 LED 디스플레이 유닛 CAN: 5개 석영 센서(소모품) 포함되어 있습니다 포함된 데이터베이스에 따라 코팅할 입력 재료 코팅 전체 두께 및 코팅 속도를 표시합니다 수냉이 필요합니다
전체 치수	L1300mm × W660mm × H1200mm
순 중량	460kg
보증	1년 제한 보증 및 평생 지원
응용 노트	챔버에서 산소를 제거하기 위해 5% Hytrogen + 클랜 챔버에 95% 질소를 2-3회 사용하도록 권장합니다. 그러면 산소가 10ppm 미만으로 감소할 수 있습니다 플라즈마 스퍼터링 시 5N 순도 아르곤 가스를 사용하십시오. 5N 순도 AR이 있더라도 일반적으로 산소 및 H2O가 10-100ppm으로 포함되어 있습니다

이중 헤드 진공 2" 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터

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