비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 | 입력 전원 | 220VAC 50 / 60Hz, 단상 2000W(펌프 포함) |
소스 전원 |
두 개의 스퍼터링 전원이 하나의 제어 박스에 통합되어 있습니다 DC 소스: 금속 재질 코팅용 500W RF 소스: 비금속 재질 코팅의 경우 300W |
마그네론 퍼터링 헤드 |
수냉식 자켓이 있는 2인치 마그네론 스퍼터링 헤드 두 개가 있습니다 포함 하나는 비전도성 물질의 RF 소스에 연결됩니다 다른 하나는 코팅을 위해 DC 전원에 연결되어 있습니다 금속 재질 목표 크기 요건: 2" 직경 두께 범위: 금속성 및 비전도성 타겟(지지판 포함) 모두 0.1 - 5mm Cu 및 SiO2 결합 타겟 1개가 에 포함되어 있습니다 데모 테스트 권장 코팅 방법
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| 진공 챔버 | 진공실: 300mm 직경 x 300mm 높이, 스테인리스 스틸 재질 관찰 창: 직경 100mm 공압 파워 폴이 장착된 상단의 경첩형 뚜껑 손쉬운 대상 교환 |
시료 홀더 |
샘플 홀더 크기: 직경 140mm 최대 4" 웨이퍼 시료 홀더 회전 속도는 조절 가능합니다. 1 - 20rpm으로 코팅이 균일합니다 홀더 온도는 RT에서 500°C로 조절할 수 있습니다 정확도 +/- 1.0°C |
| 가스 흐름 제어 |
2개의 정밀 디지털 MFC(질량 유속 제어기) 두 가지 유형의 가스를 사용할 수 있도록 설치됩니다 기입했습니다 유량: 200ml/min 최대 (0-200 SCCM) 유량은 6" 터치 스크린 컨트롤에서 조정할 수 있습니다 패널 |
| 진공 펌프 스테이션 |
고속 터보 진공 펌프(독일에서 제작)는 진공 챔버에 직접 설치되어 진공 수준이 최대로 높아집니다 중부하 작업용 2단 기계식 펌프, 220리터/분(7.8CFM)은 빠른 펌핑 속도를 위해 터보 펌프에 연결됩니다 이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있고, 작은 스퍼터링 코터가 포함되어 있습니다 역 위에 놓을 수 있습니다 표준 진공 레벨: < 4x10^-5 Torr. 최대 진공 레벨: 챔버 베이킹 토르 10^-6 |
| 물 냉각기 |
디지털 온도 조절 재순환 냉각기 1개가 포함되어 있어 마그네트론 퍼터링 헤드를 모두 냉각합니다. 냉동 범위: 5 ~ 35°C 플로잉 요금: 16L/분 |
옵션 |
정밀 석영 필름 두께 모니터는 챔버에 내장될 때 정밀 석영 필름 두께 모니터를 사용하여 0.10 Å 수준의 코팅 두께를 모니터링할 수 있습니다. 측정 기능이 있는 Pricesion 박막 및 코팅 분석 시스템은 코팅 후 필름 두께를 측정할 수 있습니다. |
전체 치수 |
뚜껑 닫힘: 48" × 28" × 32" 뚜껑 열림: 48" × 28" × 37" |
| 순 중량 | 200kg |
| 보증 | 1년 제한 보증 및 평생 지원 |
