비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 | 피처 |
스핀을 비롯한 분무의 장점을 결합하여 대형 감산 장비에 조밀하고 균일한 액체 위상 코팅을 수행할 수 있습니다. 저온강( 예: RF/마이크로파 페라이트 침착), 고분자 코팅, 분말 및 복합 재료 코팅, 패턴화된/불균일한 감산 코팅 등의 적용 분야에서도 스핀 전용 및 스프레이 전용 모드로 작동합니다 |
| 회전 코터 | 최대 직경 12" 또는 8" 오카레원 오일리스 플기판을 고정하기 위한 조절식 기판 홀더가 있는 진공 청크가 포함되어 있으며 스핀 코터스핀 속도에 의해 제어됩니다. 300-3000rpm 조정식안전을 위해 웨이퍼가 8인치 이상인 경우 속도는 2000rpm으로 제한하는 것이 좋습니다. |
| 초음파 스프레이 노즐 | 압축 공기 성형기가 있는 초음파 스프레이 노즐 2개가 있는 초음파 발생기 1개가 포함되어 있습니다. KF-25 어댑터와 함께 스프레이 노즐이 포함되어 있습니다. 원통형 유형 1개 - 좁은 스프레이 20mm 직경1개 - 넓은 스프레이 40mm 직경 권장 수성 용액용 압축 공기 압력: 최대 2개의 psiOne 유량계가 통합되어 압축 공기 유동을 조절 및 모니터링합니다. 유체 점도 범위: 1 - 50MPa·(CP) 장착용 스윙 암 초음파 스프레이 헤드가 속도 및 이동 범위를 조정할 수 있습니다 |
| 열 가능 주사기 펌프 | 액정 터치 스크린 컨트롤이 있는 열식 주사기 펌프가 포함되어 있어 액체를 초음파 NozzleOne 50mL 주사기로 바로 전달할 수 있습니다. 이 장치는 0.4 - 30mm 디아결정핑 속도의 주사기를 수용할 수 있습니다. 0.1 - 45mm/min의 조절형(포함된 50mL 주사기의 경우 0.08mL/min - 35mL/min). 30 세그먼트 프로그래밍 가능 온도 제어기가 있는 유연한 폴리이미드 히터가 내장되어 최대 75°C의 가열을 지원합니다 |
| 선택 사항 |
할로겐 라이트 히터 (최대 출력 1000W) 열전대와 온도 제어기를 최대 80°C까지 추가 비용으로 주문할 수 있습니다. 복사(12" 금속 기질을 가진 최대 65°C)는 건강과 안전 문제를 위해 증기 후드 안에 스핀 스프레이 혼합기를 둘 것을 강력하게 권장합니다. 보조 초음파 스프레이 유닛을 주문하여 스윙 암에 장착하여 공동 증착 또는 석출 공정을 진행할 수 있습니다. 위의 용도인 경우 독립 제어식 2채널 가열 주사기 펌프를 추가 비용으로 주문하여 표준 주사기 펌프를 교체할 수 있습니다 |
| 유틸리티 요구 사항 | 출력: 208-240VAC, 50/60Hz, 토털가스 내 3000W: 초음파 노즐용 압축 공기 ~2psi |
| 순 중량 | 160lbs |
| 배송 크기 | 45" L x 50" W x 50" H |
| 선적 중량 | 200lbs |
| 규정 준수 | CE 인증 |
| 보증 | 1년 제한 수명 지원\n\n 으로 인한 손상 및 손상 부적절한 보관 조건 또는 유지보수는 보증이 적용되지 않습니다 |
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