유형: | 코팅 스프레이 건 |
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코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 알류미늄 |
인증: | CE, TUV |
조건: | 새로운 |
진공 챔버: | 고순도 석영 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
3 로타리 타겟 플라즈마 침을 뱉는 코터 W. 3개의 대상을 포함한 기판 히터(500°C) -
로터리 증발기 도입
CE 인증을 받은 소형 3개의 회전 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터와 터치스크린 디지털 컨트롤러, 최대 500°C의 온도 상승을 지원하는 기질 히터입니다 최대 직경 50mm의 시료에 1-3가지 유형의 금속 재료를 코팅할 수 있습니다. 세 개의 스퍼터링 타겟: 금, 은, 구리는 이다
즉시 사용할 수 있도록 포함되어 있습니다.
로터리 증발기의 기술 매개 변수
입력 전원 |
단상 220 VAC, 50 / 60Hz 700W(진공 펌프 포함) 110V AC를 사용하는 경우 변압기를 함께 사용할 수 있습니다. 제품 옵션에서 전압을 선택하십시오 |
출력 전원 |
1600VDC 최대 40mA |
진공 챔버 |
진공 챔버: 고순도 석영으로 제작된 150mm ID x 150mm H 스테인리스강으로 제조된 밀봉 플랜지와 평면 O-링 |
히터가 있는 샘플 단계 |
단계 크기: 50mm 직경 스퍼터링 거리 범위: 25-40mm 조절 가능 세 가지 스퍼터링 포지션이 있는 회전 가능한 무대 (터치 스크린에 의해 제어됨) 기판 히터는 최대 가열 온도를 로 하여 내장되어 있습니다 500°C /- 1°C의 정확성이 있는 PID 온도 제어기가 통합되어 있습니다 터치 스크린 |
제어판 |
PLC가 통합된 6인치 컬러 터치 스크린으로 작동이 간편합니다 진공 게이지, 스퍼터링 전류 미터 및 기질 온도 제어 기능이 터치 스크린 패널에 통합되어 있습니다 가스 흡기용 전면 패널의 조정 손잡이 스퍼터링 전류 컨트롤 터치 스크린에서 스퍼터링 위치, 스퍼터링 타이머, 프로세스 로깅에 액세스할 수 있습니다 |
실드 |
스테인리스 스틸 실드 케이지가 포함되어 있어 보호 기능이 더욱 강화되었습니다 |
스퍼터링 타겟 |
대상 크기 요구 사항: 47mm 직경 x 최대 2.5mm |
진공 펌프
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진공 펌프 연결을 위한 KF25 진공 포트가 내장되어 있습니다 KF25 커넥터가 있는 진공 펌프가 필요하지만 포함되어 있지 않습니다. 사용자가 선택할 수 있습니다 최대 진공까지 청소할 수 있는 2단 기계식 진공 펌프 10^-2도 또는 최대 10^-4 Torr의 진공 청소기를 위한 터보 펌프 진공 펌프는 전원 콘센트에 연결할 수 있습니다 자동 제어를 위한 코터의 좌측 |
치수 |
440mm L × 330mm W × 455mm H |
순 중량 |
50kg |
로터리 증발기의 추가 사진
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