반도체 박막 증착 CVD 필름 기계
CVD 필름 기계의 제품 설명
1500ºC 단일 가열 구역 저진공 CVD 필름 장비(CY-O1500-60IT-3F-LV) 는 1500ºC 단일 온도 구역 튜브 용광로, 3채널 플로트 유량계와 2단계 로터리 베인 진공 펌프로 구성됩니다. 기체 반응제는 특정 조건에서 고체 필름을 형성하기 위해 기질 표면에 증착된 고체 상 제품을 형성하기 위해 법적 대응에 의해 형성됩니다.
CVD 필름 장비는 PID 온도 제어를 위한 정밀 온도 제어 기기로 제어됩니다. 30세그먼트 인양온도 프로그램을 편집할 수 있으며 과열 및 단락 방지 기능이 있습니다. 용광로 튜브 양쪽에 있는 플랜지에는 디지털 진공 게이지와 기계 압력 게이지가 장착되어 있어 용광로 튜브의 대기를 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 동시에, 튜브 용광로에는 사용이 간편한 고해상도 트루 컬러 터치스크린이 사용됩니다. 비전문가도 간단한 교육 후 기기의 사용을 마스터할 수 있으므로 실험 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
CVD 필름 기계의 용광로 튜브는 고순도 알루미늄 연소로 만들어졌으며 용광로 본체는 통합 설계를 채택하였습니다. 이 독특한 디자인은 시스템이 1500ºC에서 안정적이고 안전하도록 보장합니다. 가열 소자는 1500ºC 의 높은 온도에 도달할 수 있는 고품질 실리콘 탄소 로드로 제조되었습니다. 고객이 필요로 하는 경우 실리콘 몰리브덴 로드 가열 소자를 사용자 지정하여 1700ºC의 높은 온도를 얻을 수 있습니다.
이 시스템에는 3 채널 플로트 유량계가 장착되어 있어 1~3개의 가스 채널을 혼합하여 실험에 필요한 혼합 가스를 정확하게 준비할 수 있습니다. 플로트 유량계 전면에 다른 압력 게이지가 장착되어 가스 압력 및 혼합 탱크 압력을 모니터링합니다.
애플리케이션:
대학교, 연구 기관, 산업 및 광산 업체, 특히 다양한 가스 혼합 대기를 필요로 하는 CVD 실험용 화학 반응 증착에 의한 화학 반응으로부터 필름 준비
CVD 필름 기계의 기술 매개변수
| 진공 튜브 용광로 |
모델 |
CY-O1500-60IT |
| 튜브 재질 |
고순도 알루미늄 |
| 튜브 직경 |
60mm |
| 튜브 길이 |
1000mm |
| 용광로 챔버 길이 |
400mm |
| 가열 구역 길이 |
300mm |
| 일정한 온도 영역 |
150mm |
| 작동 온도 |
1450ºC 이하 |
| 온도 제어 정확도 |
±1ºC |
| 온도 제어 모드 |
30 또는 50세그먼트 프로그램 온도 제어 |
| 디스플레이 모드 |
LCD |
| 씰링 방식 |
304 스테인리스 스틸 진공 플랜지 |
| 플랜지 인터페이스 |
1/4" 페룰 커넥터, KF16/25/40 조인트 |
| 진공 |
4.4 × 10E-3Pa |
| 전원 공급 장치 |
AC: 220V 50 / 60Hz |
| 가스 공급 시스템 |
모델 |
CY-3F |
| 가스 채널 |
3채널 |
| 측정 단위 |
가스 플로트 유량계 |
| 측정 범위 |
A 채널: 0 ~ 100ml H2 가스 |
주의: 다른 범위나 가스 종류가 필요한 경우 주문할 때 지정해야 합니다. 고객의 특정 요구 사항에 따라 해당 가스 유형 및 범위의 유량계를 선택할 수 있습니다. |
| B 채널: 16 ~ 160ml N2 가스 |
| C 채널: 25 ~ 250ml AR 가스 |
| 측정 정확도 |
±2.0% |
| 파이프 압력 저항 |
3MPa |
| 작동 압력 차이 |
50 ~ 300KPa |
| 연결 파이프 |
304 스테인리스 스틸 |
| 가스 채널 |
304 스테인리스 스틸 니들 밸브 |
| 인터페이스 사양 |
가스 입구 및 배출구용 1/4" 페룰 커넥터 |
| 배기 시스템 |
기계식 펌프 |
로터리 베인 펌프 |
| 펌핑 속도 |
1L/S |
| 배기 인터페이스 |
KF16 |
| 진공 측정 |
저항 게이지 |
| 최고의 진공 청소기 |
1.0E-1Pa |
| 전원 공급 장치 |
AC: 220V 50 / 60Hz |
| 펌프 인터페이스 |
KF16 |
참고: 실험의 요구에 따라 온도, 온도 영역, 용광로 크기, 진공 시스템, 유량계를 선택할 수 있습니다
CVD 필름 기계의 관련 사진
2005년에 설립된 정저우 CY Scientific Instrument Co., Ltd. 는 실험실 기술 연구 장비의 개발 및 생산을 전문으로 하는 회사입니다. 제품은 혼합, 압착, 연소, 절단, 접지, 광택, 코팅, 분석 장비 및 관련 소모품 제품에는 실험실 소결 장비, 코팅 장비 등이 포함됩니다. 현재, 이 장비는 미국, 유럽, 동남아시아 등 25개 국가와 지역으로 수출되었으며 다양한 과학 연구 단위에서 좋은 평가를 받고 있습니다.
저희는 기술 연구 개발 팀을 보유하고 있으며, 기술자의 수는 33명이고, 150명, 500평방 미터 이상의 사무실 공간을 보유하고 있습니다. 이 공장은 정저우 하이테크 구역 전자 산업 공원에 위치한 약 1, 500 평방 미터의 지역을 담당합니다. 이 제품은 주로 연구 시장에 위치해 있으며, 대학과 대학 연구실에서 과학 연구를 제공하고, 필요에 따라 제품을 맞춤화할 수도 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A. 1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2. 고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
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