캐비닛 유형 내부식성 스핀 코터
캐비닛 유형 부식 방지 스핀 코터 는 산업 수준의 수동 혼합 요구 사항을 충족하기 위해 모든 PP 부식 방지 풀 캐비닛 설계를 채택하였습니다. 이 제품에는 자동 분사 기능이 있어 스핀 코팅 및 분사 과정의 반복성을 보장합니다.
캐비닛 유형 부식 방지 스핀 코터의 간단한 작동, 편리한 세척, 작은 크기 등의 이점이 있습니다. 이 코터의 주된 용도는 대학교 및 연구 기관의 필름 형성 과정에 사용됩니다.
캐비닛 유형 내부식성 스핀 코터 제품 특징:
1. 내부식성 PP 전체 캐비닛 독립 혼합 스테이션
바닥에 폐기물 접착 수집 및 의 환기 맨 위
산업 생산을 위한 업그레이드 가능한 자동 분사 기능
통합 터치 스크린 컨트롤, 위/아래 이동 중에도 투명 보기 창
서보 모터 시스템을 사용하여 안정적인 성능을 제공하고 산업 요구 사항을 충족합니다
캐비닛 유형 부식 방지 스핀 코터 제품 매개변수:
1. Spin 코팅 프로그램: 최대 100개의 프로그램 그룹을 저장합니다. 각 그룹은 100개의 단계를 가지고 있으며 각 단계는 0.1초까지 정확할 수 있습니다
회전 속도: 0 - 5, 000rpm(고속 선택사양), 중부하 또는 대형 스핀 코팅의 안전성을 고려하여 5000rpm으로 제한됩니다
스핀 코팅 가속: 0 - 10, 000rpm/sec(높은 옵션), 무거운 또는 큰 스핀 코팅의 안전성을 고려할 때 10000rpm/s로 제한됩니다
모터 스핀 코팅 속도 안정성 오류: ±1rpm 미만
5. 속도 조정 정확도 및 반복성: 1rpm
6. 공정 시간 설정: 0-3, 000초/스텝, 시간 설정 정확도: 0.1초
7. 웨이퍼 크기 25px-300mm(12" 원형 크리스탈) 지원
스핀 코팅 균일성: 6인치 범위에서 < ±3%(가장자리 3mm 9 를 제거해야 함)
10. 다중 채널 자동 분사 기능을 장착할 수 있으며, 분사 유량 0.006-990ml/min은 조절 가능합니다
11. 세 가지 크기의 진공 캐리어를 기본으로 사용할 수 있으며, 다른 크기도 맞춤 설정할 수 있습니다
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