1200c 플라즈마 강화 화학 증착제 PECVD 진공 퍼에이스

• Application: School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Desktop
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• 모델 번호.: CY-PECVD-T01
• 진공 튜브 용광로: 고순도 석영
• 튜브 직경: 50mm
• 가열 구역 길이: 400mm
• 작동 온도: 0-1100c
• RF: 13.56mhz + 0.005%
• 가스 공급 시스템: 가스 질량 유량계
• 측정 정확도: 0.2%
• 최고의 진공 청소기: 1.0e-1PA
• 로터리 베인 펌프: 1.1L/S
• 운송 패키지: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Packagi
• 사양: PECVD furnace
• 등록상표: CYKY
• 원산지: Zhengzhou Henan China

제품 설명

1200C 플라즈마 강화 화학 증착제 PECVD 진공로


  PECVD 진공로 제품 설명
플라즈마 강화 CVD 기계는 플라즈마 발생기, 3열 구역 튜브 용광로, 단일 가열 구역 튜브 용광로, RF 전원 공급 장치 및 진공 시스템으로 구성됩니다.
낮은 온도에서 화학 반응이 일어나도록 하기 위해, 반응을 촉진하는 데 혈장의 활동이 활용되므로 CVD를 플라즈마 강화 화학 증기 증착(PECVD)이라고 합니다. PECVD 그래프 필름 준비 장치는 13.56MHz의 RF 출력을 통해 필름 구성 원자를 포함하는 가스를 이온화하고 진공 챔버에 혈장을 형성하며, 혈장의 강력한 화학적 활성을 활용하고, 반응 조건을 개선하고, 혈장 활동을 활용하여 반응을 촉진합니다. 그런 다음 기판에 원하는 필름을 적상합니다.

애플리케이션:
이 장비는 그래프 작성, 황화처리 준비, 나노미터 재료 준비 등 다양한 테스트 장소에서 사용할 수 있습니다. SiOx, SiNx, 비정질 실리콘, 미정질 실리콘, 나노 실리콘, SIC, 다이아몬드 유사 등은 시트 표면 또는 유사한 모양의 샘플에 쌓일 수 있으며, P-TYPE 및 N-TYPE 도핑필름도 침전될 수 있습니다. 침전된 필름은 균일성, 휴대성, 접착성 및 절연성이 좋습니다. 이 제품은 커터, 고정밀 금형, 하드코팅, 하이엔드 장식 등에 널리 사용됩니다


  PECVD 진공로(PECVD Vacuum Furnace)의 기술
 

3열 구역 튜브 용광로	모델	CY-O1200-50IIIT
	튜브 재질	고순도 석영
	튜브 직경	50mm
	튜브 길이	2830mm
	용광로 챔버 길이	660mm
	가열 구역 길이	200mm + 200mm + 200mm
	작동 온도	0 ~ 1100ºC
	온도 제어 정확도	±1ºC
	온도 제어 모드	30 또는 50세그먼트 프로그램 온도 제어
	디스플레이 모드	LCD
	씰링 방식	304 스테인리스 스틸 진공 플랜지
	플랜지 인터페이스	1/4" 페룰 커넥터,   KF16/25/40 조인트
	진공	4.4E - 3Pa
	전원 공급 장치	AC: 220V 50 / 60Hz
단일 가열 구역 튜브 용광로	모델	CY-O1200-50IT
	튜브 재질	고순도 석영
	튜브 직경	50mm
	튜브 길이	2830mm
	용광로 챔버 길이	440mm
	가열 구역 길이	400mm
	일정한  온도 영역	200mm
	작동  온도	0 ~ 1100ºC
	온도 제어 정확도	±1ºC
	온도 제어 모드	30 또는 50세그먼트 프로그램 온도 제어
	디스플레이 모드	LCD
	씰링 방식	304 스테인리스 스틸 진공 플랜지
	플랜지 인터페이스	1/4"  페룰 커넥터, KF16/25/40 조인트
	진공	4.4E - 3Pa
	전원 공급 장치	AC: 220V 50 / 60Hz
RF 출력 시스템	출력 범위	0 ~ 500W 조정 가능
	작동 주파수	13.56MHz + 0.005%
	작동 모드	연속 출력
	디스플레이 모드	LCD
	임피던스 모드가 일치합니다	잘 맞아질 수 있습니다. 3개의 가열 구역 용광로 튜브로 균일하게 빛이 덮여 있습니다
	파워 안정성	2W 이하
	정상 작동 반사력	≤ 3W
	증폭된 반사력	70W 이하
	조화 부품	≤-50dBc
	장비 효율성	≥ 70%
	파워 팩터	90% 이상
	공급 전압/주파수	단상 AC(187V~153V) 주파수 50/60Hz
	제어 모드	내부 제어/PLC 아날로그/RS232/485 통신
	전원 보호 설정	DC 과전류 보호, 전력 증폭기 과열 보호, 반사된 전원 보호
	냉각 방법	강제 공기 냉각
	광선 길이	AR에서는 RF 전원 공급 장치와 코일이 결합되어 빛을 방출하며, 3개의 가열 구역에서 연광이 용광로의 길이를 채울 수 있습니다.
가스 공급 시스템	4채널 질량 유량계	질량 유량계
	유량 범위	MFC1 범위: 0 ~ 200sccm   MFC2 범위:   0 ~ 200scm MFC3 범위: 0 ~ 500scm   MFC4 범위: 0 ~ 500scm H2, CH4, N2, AR 가스에 해당
	측정 정확도	± 1.5% F. S
	반복성	±0.2% FS
	선형 정밀도	± 1% F. S.
	응답 시간	≤ 4s
	작업 압력	0.15Mpa ~ 0.15Mpa
	흐름 제어	LCD 터치스크린 컨트롤, 디지털 디스플레이, 각 채널 가스에는 개별 컨트롤을 위한 니들 밸브가 포함되어 있습니다
	흡기 인터페이스	1/4NPS 또는 6mm 외경  스테인리스 외경에 연결 가능 강철 튜브
	콘센트 인터페이스	1/4NPS 또는 6mm 외경  스테인리스 외경에 연결 가능 강철 튜브
	연결 방법	이중 페룰 커넥터
	작동 온도	5 ~ 45ºC
	가스 사전 혼합	가스 프리믹스 장치 장착
배기 시스템	기계식 펌프	로터리 베인 펌프
	펌핑 속도	1L/S
	배기 인터페이스	KF16
	진공 측정	저항 게이지
	최고의 진공 청소기	1.0E-1Pa
	전원 공급 장치	AC: 220V 50 / 60Hz
	펌프 인터페이스	KF16
레일	레일 길이	2.5m~3m 3열 구역 용광로에서 용광로 위치 길이 1개를 밀어 온도를 빠르게 상승 및 하강 시킬 수 있습니다.

참고: 실험의 요구에 따라 온도, 온도 영역, 용광로 크기, 진공 시스템, 유량계를 선택할 수 있습니다.


PECVD 진공로 관련 사진



튜브 용광로



배기 시스템(진공 펌프)

2005년에 설립된 정저우 CY Scientific Instrument Co., Ltd. 는 실험실 기술 연구 장비의 개발 및 생산을 전문으로 하는 회사입니다. 제품은 혼합, 압착, 연소, 절단, 접지, 광택, 코팅, 분석 장비 및 관련 소모품 제품에는 실험실 소결 장비, 코팅 장비 등이 포함됩니다. 현재, 이 장비는 미국, 유럽, 동남아시아 등 25개 국가와 지역으로 수출되었으며 다양한 과학 연구 단위에서 좋은 평가를 받고 있습니다.

저희는 기술 연구 개발 팀을 보유하고 있으며, 기술자의 수는 33명이고, 150명, 500평방 미터 이상의 사무실 공간을 보유하고 있습니다. 이 공장은 정저우 하이테크 구역 전자 산업 공원에 위치한 약 1, 500 평방 미터의 지역을 담당합니다. 이 제품은 주로 연구 시장에 위치해 있으며, 대학과 대학 연구실에서 과학 연구를 제공하고, 필요에 따라 제품을 맞춤화할 수도 있습니다.





Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A. 1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2. 고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법
A. T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.

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