Type: | Two Zone Tube Furnace |
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Certification: | CE |
Structure: | Horizontal Type |
Brand: | Cyky |
최고 온도: | 1200c |
가열 소자: | 저항 와이어 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
CY-O1200-60i-CVD는 60mm 직경의 석영 튜브, 기계식 진공 펌프 및 4채널 가스 흐름 시스템을 갖춘 CE 인증 splitable 단일 구역 튜브 용광로입니다. 최대 10-2 토르의 최대 진공에 도달하고 1-4가지 유형의 가스를 CVD 또는 확산에 혼합할 수 있습니다. 이 가스는 실험실의 박막 준비에 널리 사용됩니다.
모델 번호 |
CY-O1200-60i-CVD |
표시 |
LCD 터치 패널 |
온도 제한 |
1200ºC |
작동 온도 |
≤ 1100ºC |
난방 속도 |
0-20ºC/min |
가열 구역 길이 |
440mm, 일정한 온도 영역: 200mm |
석영 튜브 직경 |
OD60 * 1000mm |
온도 정확도 |
±1ºC |
가열 소자 |
FE-CR-Al Alloy Adopt by Mo |
열 커플 |
K형 |
냉각 방법 |
팬 냉각이 있는 이중 계층 구조 |
온도 조절 |
30단계 프로그래밍 가능 PID 제어 |
챔버 재료 |
알루미늄 섬유 |
과열 알람 |
네 |
과전류 알람 |
네 |
씰링 플랜지 |
S.S 진공 플랜지 |
진공 펌프 |
기계식 로터리 진공 펌프(선택사양) |
냉각 방법 |
공기 냉각 |
연결 파이프 |
스테인리스 스틸 벨로즈, 수동 플랩 밸브 |
가스 혼합기 |
양방향 가스 믹서 |
정확성 |
± 2% F.S. |
정확도를 반복합니다 |
±0.2% FS |
선형 정밀도 |
± 1% F.S. |
작동 압력: |
-0.1MPa ~ 0.15MPa |
MFC1 범위 |
0 ~ 100SCCM |
MFC2 범위 |
0 ~ 200SCCM |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체