1" Magnetron 스퍼터링 소스와 DIY RF를 위한 유연한 헤드 DC 스퍼터링 코터(&D

• 사용자 지정: 사용자 지정
• 구조: 바탕 화면
• 자료: 알류미늄
• 인증: CE, TUV
• 신청: 학교, Hospital, 랩
• 유형: Magnetron Sputtering Source
• 모델 번호.: CY-HVMSS-SPC-1-LD
• 퍼터링 헤드 직경: 1.82"
• 최대 대상 두께: 3mm
• 타겟 직경: 25.4mm
• 음극 침을 뱉는 전압: 200-1000V
• 음극 퍼터링 전류: 3amp
• 운송 패키지: Wooden Box
• 사양: 1"
• 등록상표: CY
• 원산지: Zhengzhou, China
• 세관코드: 85141090
• 생산 능력: 210 Sets Per Month

제품 설명

1" Magnetron 스퍼터링 소스와 DIY RF를 위한 유연한 헤드 코터 HVMSS-SPC-1-LD를 버벅거림이 있는(& D
HVMSS-SPC-1-LD는 다양한 1" Dia. Sputtering 소스를 수용할 수 있는 유연한 헤드가 있는 마그네론 스퍼터링 총입니다. DC, 펄스 DC 및 RF 전원 공급 장치와 호환되므로 최대의 다기능성을 보장하고 다양한 끊김 대상(예: 금속, 전기 절연, 자기 또는 비자성 등)으로 사용을 확장합니다. 또한, 진공 설계가 높기 때문에 저압 레벨에서는 아르곤 사용이 챔버 내부의 가스 충돌을 줄여 코팅 품질을 향상시킵니다.  
 

피처	높은 자기장 강도 및 균일한 자기장 프로파일을 사용하여 얻을 수 있습니다 의 설계에 전자기 유한 요소 계산 영구 자석 어셈블리 낮은 임피던스 스퍼터링 헤드 및 표준 RF 커넥터는 다양한 DC 및 RF 스퍼터링 전원 공급 장치와 쉽게 일치하고 인터페이스합니다. 있습니다. 일반적인 도구를 사용한 간편한 설치 자석은 부식 방지 코팅이 되어 있는 냉각수에서 분리되어 내구성을 극대화합니다. 스퍼터링 소스는 최대 200°C까지 버벅거림이 가능합니다 1" 동선 지지판  (EQ-CBP-1)  이 포함되어 있습니다. 표준 외경 축 3 mm(1/8") 두께 목표를 수용합니다. 구리 타겟 1개가 표준 액세서리로 포함되어 있습니다
퍼터링 건	스퍼터링 헤드 직경:                 1.82" (46.3mm) 목표 직경: 1.0 ± 0.02" (25.4mm) 최대 대상 두께:       1/8"(3mm)   자석:   NdFeB 희귀 접지 자석 샤프트 직경: 3/4" 외경
전기 커넥터	표준 HN 암 커넥터가 포함되어 있음(DC 및 RF, 왼쪽 아래 그림) SL16 케이블 커넥터 옵션   148cm RF 케이블은 추가 비용으로 사용하는 것이 좋습니다
전원 요구 사항	DC(최대)   250W RF(최대) 100W
음극 퍼터링 전류	3Amp(최대)
음극 퍼터링 전압	200-1, 000V
작동 압력 범위	1 mTorr ~ 1 Torr
스퍼터링 두께 균일성 곡선	참고:   위의 정규화된 필름 두께 그래프는 1인치 Cu 타겟을 사용하여 PVD HV Magnetron 스퍼터링 건을 사용하여 ~200nm 두께의 필름을 증착하는 데 있습니다. 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 상호 수직인 두 방향(X, Y)의 4점 프로브를 사용하여 측정을 수행했습니다. 다음 조건에서 산화성 비회전 Si 웨이퍼에 필름을 증착했습니다. 10mTorr(AR)에서 150W DC 표적에서 기질까지의 거리(75-mm
수냉(필수)	유량 요구 사항:                   1/2GPM, 필터링됨 물 유입 온도:                     < 20 C 물 연결:                         0.25" O. D. 빠른 연결 해제
전기 및 마운팅 피팅	전기 커넥터: 표준 HN 유형(DC 및 RF)
틸트 어셈블리	퍼터링 헤드는 포격 발생각을 조정하여 퍼터링 출력을 개선할 수 있도록 +/- 45도 기울일 수 있습니다. 틸트 어셈블리의 스크라이브 라인은 정밀한 각도 조정을 제공합니다.
보증	1년 제한, 평생 지원