Type: | Gas Mass Flowmeter |
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Measuring Medium: | Gas |
Output Signal Type: | Analog Type |
Production Process: | Integration |
Material: | Stainless Steel |
Accuracy Grade: | 1.0G |
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FMM501 흡입 공기량 컨트롤러는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 이 두 가지 영역은 반도체 및 집적 회로 산업, 특수 재료, 화학 산업, 산업, 의료 분야에서 과학 연구 및 생산에서 중요한 역할을 합니다. 환경 보호 및 진공 램프 일반적인 응용 분야로는 확산, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 퍼터링, 이온 이식, 코팅 장비, 광섬유가 녹아 마이크로 반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 모세관 측정 기체 크로마토그래피 및 기타 분석 기기
기술 지표
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MFC
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MFM
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범위
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2SCCM-300SLM
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정확성
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± 1% F.S
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온도 ±1ºC
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선형
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±0.5% F. ºC
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반복성
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0.2% F. ºC
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응답 시간
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2초 미만
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1초 미만
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아날로그
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0-5V/4-20mA
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커뮤니케이션
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RS485 Modbus RTU
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전원 공급 장치
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±15V/24V
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작동 온도
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0-50ºC
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차압
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DP: 0.05 - 1.0MPa
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DROP:<30Kpa
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최대 압력
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3Mpa/10Mpa
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전기 연결부
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DB15
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누출 비율
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1 × 10-8 SCCSHe
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온도 C.
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±0.015% F.S/ºC
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베이스 재질
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316 SST
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씰링
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PTFE/CR/NBR
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장착
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1/4" 3/8" 6mm 10mm
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