LSM-160 마그네트론 스퍼터링 코팅 머신

• 판매 후 서비스: 24개월
• 보증: 24개월
• 웨이퍼 크기: ≤ 6인치
• 운송 패키지: Carton
• 사양: 170*130*180
• 등록상표: CHHGC
• 모델 번호.: LSMS-160
• 원산지: 중국
• 생산 능력: 5000 Pieces/Year

제품 설명

제품 소개

목적: Sputtering 방법 사용 대상

에 몇 미크론의 얇은 필름을 배치합니다

다양한 시료를 포함한 시료 표면

금속, 반도체, 강자성

절연산화물은 물론 물질

세라믹 및 기타 재료.
제품 매개 변수

웨이퍼 크기

≤ 6인치

진공 각도

10 -8 토르

두께 균일성 오류

5% 미만

스퍼터링 두께

0-300nm

튀는 재료

Al, Cu, GR, Co, Fe, NI, Pt, Ag, TiO2, NiFe 및 NiMn 등

크기

170cm * 130cm * 180cm