항목 |
사양 |
BS-4020A |
BS-4020B |
광학 시스템 |
NIS45 Infinite Color Corrected Optical System(튜브 길이: 200mm) |
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헤드 보기 |
Ergo Tilting Trinocular Head, 조절식 0-35° 경사, 동공거리 47mm-78mm, 분할 비율 아이피스: Trinocular = 100:0 또는 20:80 또는 0:100 |
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Seidentopf Trinocular Head, 30° 경사, 동공간 거리: 47mm-78mm; 분할 비율 아이피스: Trinocular = 100:0 또는 20:80 또는 0:100 |
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Seidentopf 양안머리, 30° 경사, 동공거리: 47mm-78mm |
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아이피스 |
슈퍼 와이드 필드 플랜 아이피스 SW10X/25mm, 디옵터 조절 가능 |
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슈퍼 와이드 필드 플랜 아이피스 SW10X/22mm, 디옵터 조절 가능 |
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초광각 필드 플랜 아이피스 EW12.5X/17.5mm, 디옵터 조절 가능 |
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넓은 필드 플랜 아이피스 WF15X/16mm, 디옵터 조절 가능 |
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넓은 필드 플랜 아이피스 WF20X/12mm, 디옵터 조절 가능 |
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목표 |
NIS45 무한 LWD 계획 세미 아포 목표(BF 및 DF), M26 |
5x/NA = 0.15, WD = 20mm |
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10x/NA = 0.3, WD = 11mm |
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20x/NA = 0.45, WD = 3.0mm |
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NIS45 Infinite LWD APO 목표(BF 및 DF), M26 |
50x/NA = 0.8, WD = 1.0mm |
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100x/NA = 0.9, WD = 1.0mm |
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NIS60 Infinite LWD 계획 BF(Semi-APO Objective), M25 |
5x/NA = 0.15, WD = 20mm |
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10x/NA = 0.3, WD = 11mm |
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20x/NA = 0.45, WD = 3.0mm |
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NIS60 Infinite LWD 플랜 APO 목표(BF), M25 |
50x/NA = 0.8, WD = 1.0mm |
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100x/NA = 0.9, WD = 1.0mm |
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노세피스 |
후향적 섹툭한 조각(DIC 슬롯 포함) |
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콘덴서 |
LWD 콘덴서 N.A. 0.65 |
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전송된 조명 |
40W LED 전원 공급 장치(광 섬유 조명 가이드 포함), 강도 조절 가능 |
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반사된 조명 |
반사광 24V/100W 할로겐 램프, Koehler 조명, 6위치 터렛 |
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100W 할로겐 램프 하우스 |
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5W LED 램프가 장착된 반사광, 코ehler 조명, 6개의 터렛 위치 |
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BF1 브라이트 필드 모듈 |
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BF2 Bright field module(BF2 밝은 필드 모듈 |
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DF 다크 필드 모듈 |
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내장 ND6, ND25 필터 및 컬러 보정 필터 |
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ECO 기능 |
ECO 버튼이 있는 ECO 기능 |
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집중하기 |
낮은 위치의 동축 굵은 초점 및 미세 초점, 미세 분할 1μm, 이동 범위 35mm |
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단계 |
3중 기계무대, 손잡이, 크기 14" x12"(356mmx305mm), 이동 범위 356mmX305mm, 전광조명 조명: 356x284mm |
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웨이퍼 홀더: 12인치 웨이퍼를 고정하는 데 사용할 수 있습니다 |
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DIC 키트 |
반사된 조명용 DIC 키트(10배, 20배, 50배, 100배 목표에 사용 가능) |
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편광 키트 |
반사되는 조명을 위한 편광 |
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반사광용 분석기, 0 - 360° 회전 가능 |
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투과된 조명용 편광 |
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전송된 조명용 분석기 |
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기타 액세서리 |
0.5X C 마운트 어댑터 |
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C 마운트 어댑터 1개 |
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먼지 덮개 |
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전원 코드 |
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보정 슬라이드 0.01mm |
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검체 프레서 |
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