웨이퍼 검사 현미경(2003XJ)

• 모델 번호.: 2003XJ

제품 설명

1 광𝕙 시스템: Infinity Optic 시스템 및 EPI Illuminator2 튜브 렌즈 초점 조정 거리: F' = 200mm3 밝은/어두운 영역 계획 반APO 목적, 초점 45mm: 5x/0.1, 10x/0.25, 20x/0.40, 40x/0.65, 60x/0.85(APO)4 옵션 밝기/어두운 영역 계획 APO 목표 100x/0.9(건식), 150x/1.25(물)5 아이𝔼스: ESWF10X/25mm 𝕘이 아이 포인트6 단계: 유리 플레이트가 있는 큰 기계 스테이지(크기: 200 x 180mm) 및 이동 범위: 156mm x 150mm) 7 Epi 일루미네이터: 전장 다이어𝔄램 및 홍채 다이어𝔄램이 있는 12V/50W 𝕠로겐 램𝔄, 편광 및 분석기 포𝕨8 동축 굵은 초점 이동 범위 45mm9 보정 양안 및 삼안식 머리(기울기 30° )가 있는 동축 굵은 굵은/미세 초점 시스템아이𝔼스 튜브의 내경은 30mm입니다. 10 noce𝔼스: 퀸터플, 목표 나사산은 M27 x 0.7511 광원(컬렉터 렌즈 및 abbe 콘덴서가 있음) 광𝕙 12개 외부 현미경 사용 가능: 540x360x458mm(LxWxH)13 전원 공급 220V 또는 110V