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| Jinan ACME MW1070 MPCVD 기계 | ||
| 진공 | 진공 측정 | 피에조 저항성 게이지 0.1 - 100kPa 정전 용량 게이지 0 - 1000Pa |
| 작동 압력 범위 | 4-28Kpa | |
| 진공 누출 비율 | ≤ 5 * 10 - 9Pa.M3/S(누수 탐지) | |
| 압력 컨트롤 | 자동 제어 | |
| 캐비티 재질 | 알루미늄 합금 여자 챔버, 석영 진공 챔버 | |
| 관찰 창 | 직경 10mm 및 관찰 창의 온도 측정 구멍 다공성 구멍 | |
| 냉각 모드 | 냉각 모드 | 수냉식 + 챔버 공기 냉각 |
| 샘플 테이블 크기 | 몰리브덴 단계 Φ 70mm, 균일 영역 Φ 50mm | |
| 온도 측정 | 적외선 온도계, 300-1400 ºC 범위 | |
| 냉각수 흐름 | 50L/min 초과 | |
| 냉각수 온도 | 20-22ºC | |
| 냉각수 인터페이스 | 1인치 외부 와이어 인터페이스 | |
| 운영 체제 | 운영 체제 | PLC 제어, 15인치 터치 스크린 제어 |
| 프로세스 메뉴 | 10개의 프로세스 메뉴, 각 25개의 라인 | |
| 전자레인지 및 전원 공급 장치 | 마이크로파 주파수 | 2.45 ± 0.1GHz |
| 출력 전력 | 1.5-7.5Kw(10kW 가정용 전자레인지 전원 공급 장치 장착) | |
| 입력 전력 전기 | 380 AC/50Hz, 3상 5선(3 * 10 + 2 * 6 전력선), >15kW | |
| 전자레인지 누출 비율 | 마이크로파 누출 비율 5MW/cm2 이하 | |
| 공정 가스 | 유량계와 인터페이스 | H2(1000SCCM) CH4(50SCCM) N2(10SCCM) O2(10SCCM) 1/4" VCR 암 압축 공기 8mm Pu 튜브 신속 플러그 |
| 유량계는 를 통해 사용되는 가스 유형을 변경할 수 있습니다 소프트웨어 | ||
| 공기 공급 압력 | 0.3-0.35MPa | |
| 압축 공기 압력 | 0.5-0.6MPa | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 | 오일 펌프 |
| 펌핑 속도 | 4L/S | |
| 전원 공급 장치 | AC 380V(±10%) | |
| 인터페이스 | 공기 배출 KF25, 공기 배출 KF25 | |
| 운영 환경 | 주변 온도 및 습도 | 실내 온도가 26°C 및 보다 낮습니다 습도가 40% 미만 |
| 장비의 전체 치수 | 크기 | 1,250mm(L) × 800mm(W) × 2,100mm(H)mm |
| 장비 외관 | ||
| 장비 수락 조건: | 1.장비 설치: 장비 설치가 완료된 후, 상대방 A와 상대방 B는 현장 시운전을 실시하고, 상대방 B의 기술자는 상대방 A를 담당하는 사람에 대한 장비 작동, 안전 및 유지보수 교육을 실시해야 합니다 | |
| 시스템 테스트: 시스템을 정상적으로 시작하고 작동할 수 있으며 분리된 불꽃은 점프 없이 안정적입니다. | ||
| 전자레인지 누출: 전자레인지 누출이 5mW/cm2 미만입니다(전자레인지 음원의 출력 전원이 장비에서 80% 이상, 10cm 떨어짐). | ||
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