• 반응을 위한 고주파수 DC 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치 스퍼터링 필름
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반응을 위한 고주파수 DC 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치 스퍼터링 필름

출력 유형: 하나의
보증: 1 년
출력 전력: 6kW
입력 전압: 380V
연결 모드: 병렬 스위칭 전원 공급 장치
시작 모드: 자기 흥분 스위칭 전원 공급 장치

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다이아몬드 회원 이후 2020

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Shandong, 중국
수입업자 및 수출업자
공급자는 수입 및 수출 권리를 가지고 있습니다.
다년간의 수출 경험
공급자의 수출 경험은 10년 이상입니다.
재고 용량
공급업체에 재고 보유 능력이 있습니다.
빠른 배달
공급자는 30일 이내에 상품을 배송할 수 있습니다.
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기본 정보

모델 번호.
ACME-MW60KW
전압 조정 모드
폭 변조 유형
전원 공급 시스템
터미널 전원 배분 장치
에너지 전송
양방향 전송
변조 방식
PWM
인증
CE, ISO
상표
Acme
입력
220V/380V
입력 모드
1상 2선/3상 4선
제어 모드
PWM
파워
6kW
시작
소프트 스타트
출력 주파수
2450MHz
로드 변경률
0.5%
효율성
90%
듀티 사이클
0-50%
DC 출력
순수 DC 출력
자동 후진
시간을 설정할 수 있습니다
외부 컨트롤
RS485/Modbus/RS232
작동 모드
CC, 전력 제한
운송 패키지
Wood Packing
사양
6kW
등록상표
ACME
원산지
Jinan
세관코드
8504401990
생산 능력
200PCS/Month

제품 설명

제품 소개
High Frequency DC Pulse Magnetron Sputtering Power Supply for Reaction Sputtering Film
이 제품은 6kW(마이크로파 주파수 2450 ± 15MHz) 마이크로파 발전기의 극초단파 마그네트론(Panasonic 또는 Richardson)을 채택하였습니다. 이 시스템은 주로 고주파수 전원 공급 장치, MW-Head 및 MW-System으로 구성된 수수로 냉각됩니다. 고주파수 전원 공급장치에는 양극 고전압 전원 공급 장치, 필라멘트 전원 공급 장치, 자기 전원 공급 장치 및 제어 시스템 등이 포함됩니다. MW-Head에는 마그네트론과 여기 캐비티 등이 있습니다. 마이크로파 시스템에는 Circulator, Coupler, Three-stub 튜너 등이 포함됩니다

마이크로파 발전기에는 터치스크린 인터페이스와 RS485 통신 등 두 가지 제어 모드가 있어 다양한 사용 요구를 충족할 수 있습니다. 확장 포트가 예약되고 실제 사용 요구에 따라 제어 기능을 추가할 수 있습니다.

 
숫자 항목 기술 요구 사항 비고
1 입력 전압 380V ± 10%, 50Hz ± 2Hz 3상 및 4상
와이어
2 마이크로파 출력
파워
6kW 이상 연속파
3 마이크로파 출력
주파수
2450MHz ± 15MHz  

4
마이크로파 변환
효율성

65% 이상
 
5 MW - 전력 조정 10%~100% 연속 조절  

6

플랜지 조인트

BJ22/BJ26
 
7 제어 모드 로컬 제어/통신  



8



보호
필라멘트 과전류 및 과전류, 양극 과압력 및 과전류, 자기장 과전류,
점화;
마그네트론 과열;
물 보호;
반사 방지
 

9

볼륨
HF-전원 공급 장치: 482mm * 177mm * 556mm
M-W 헤드: 200mm * 250mm * 300mm

W * H * D


10


사용 환경
작업 온도: -10~40ºC 보관 온도: -20~50ºC 습도: 95% 응축 없음
고도: < 3000m

0°C 미만의  부동액이 필요합니다

11

냉각 모드

장비의 외부 공급,
유량 ≥ 2.5L/min
 
숫자 코드 있습니다 입력합니다 정의 특성



1



XS1


터미널 블록



TD40-01-C
1 A


전원 공급 장치
2 B
3 C
4 N







2







XS2







터미널 블록







2EDGRKP-5.08/WC-8P
1 VCC +24V
2 온도 온도
스위치  신호
3 흐름 유량 스위치
신호
4 GND 24VGND
5 / /
6 A1
PC
커뮤니케이션
7 B1
8 RGND



3



XS3


터미널 블록



2EDGRKP-5.08/WC-4P
1 VCC +24V
2 GND 24VGND
3 A2 기능 확장 포트
4 B2


4


XS4

터미널 블록


2EDGRKP-5.08/WC-2P
1 C+ 자기장
출력 +
2 C - 자기장
출력 -
5 x1 터미널 JS333(M6 블랙) / HGND HV - GND
6 x2 스터드 M6(나비 모양) / PE 안전 GND

7

HV

HV -
도체

흰색
AEG-15kV-2.5mm²
/ FA 필라멘트 출력
/ A 양극
HV - 출력
8 인치
빠른 나사 조인트
G1/4 - Ø12 * 8 / / 물 주입구
9 아웃 G1/4 Ø12 * 8 / / 물 배출구
 
숫자 코드 있습니다 입력합니다 정의 특성



1



HV

고압 체결 플러그

BL-HV15kV

/

FA

필라멘트 출력

BL-HV15kV

/

A
양극

HV - 출력
2 x1 터미널 JS333(M6 블랙) / HGND HV - GND
3 x2 스터드 M6(나비 모양) / PE 안전 GND







4







XS1






터미널 블록







2EDGRKP-5.08/WC-6P
1 VCC +24V

2

온도
온도

스위치  신호

3

흐름
유량 스위치

신호
4 GND 24VGND
5 / /
6 / /
5 있습니다
퀵 스크류 조인트
G1/4 - Ø12 * 8 / / 물 주입구
6 아웃 G1/4 Ø12 * 8 / / 물 배출구

7

/

플랜지

BJ26

/

/

MW - 출력



High Frequency DC Pulse Magnetron Sputtering Power Supply for Reaction Sputtering Film
High Frequency DC Pulse Magnetron Sputtering Power Supply for Reaction Sputtering Film
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