After-sales Service: | Provide |
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조건: | 새로운 |
인증: | ISO |
보증: | 12 개월 |
자동 급: | 오토매틱 |
설치: | 수직선 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
제품 사용:
이 제품은 반도체 및 저온식 제빵, 건조, 물 제거, 경화, 방등과 같은 범반도체 공정에 사용됩니다.
특징:
1.통합된 휴먼 머신 운영 체제, 지속적인 자동 생산, 높은 작업 효율, 인건비, 전기 및 프로세스 시간 절약
세라믹 핀 히터, 링 모양의 주변 난방
3.최상의 진공도: ≤ 10pa(옵션); 산소 함량 지수: 정상 온도에서 ≤ 50ppm, 고온 시 ≤ 30ppm(옵션)
4.고품질 스테인리스 스틸로 만들어진 이 표면은 물리적으로 화학적으로 광택이 나도록 청결하게 만들어 졌습니다.
기술 매개변수
제품 취급 | 8/12인치 웨이퍼 | 처리량 | 50PCS/TUBE 26PCS/TUBE | |||
히터 | 세라믹 핀 히터, 링 형태의 주변 난방 | |||||
공급 포트 | 2002 / 3/4 | 조정자 | 1월 2일 | |||
온도 범위 | 장기 사용 온도: 300ºC, 최대 온도: 350ºC | |||||
난방 속도 | 8ºC/min 미만 | 냉각 속도 | 3ºC/min 미만 | |||
난방 전력 | 13kW(단일 용광로) | 온도 상승 구역 | 4 | |||
용광로 온도 균일성 | ±2%°C(200ºC 상수 온도) | 온도 제어 열전대 | K 졸업 | |||
온도 제어 방법 | SSR | 프로그램 제어 | PID 제어 | |||
분위기 제어 | 다중 채널 유량계는 공기 흡입구를 조정합니다. 유량 측정 범위는 0 - 150L/min입니다 | 분위기 | N2 | |||
배기 시스템 | 배출용 굴뚝을 상단에 설치합니다 가스 방출 및 회수 |
제어 시스템
* 인간-기계 인터페이스는 터치스크린 모드를 채택합니다
* 코어 컨트롤러는 임베디드 컨트롤러를 채택합니다
* 과열 보호는 독립적인 감지 장치입니다
* 산소 함량 검출 기능 포함
* 동작 컨트롤은 서보/스테퍼 컨트롤 유닛입니다
* Transmission은 전문 웨이퍼 전송 로봇입니다
* 이 소프트웨어에는 온도 제어, 분위기 제어, 공정 편집, 데이터 기록, 차트 표시 등의 기능이 있습니다
Jiangsu Himalaya Semiconductor Co., Ltd.는 주로 국제 무역 및 반도체 산업 장비 통합에 주력하는 2019년에 설립되었습니다. 이 장비는 현재 30개국 이상 수출되어 200명 이상의 고객과 공급업체가 최종 단계에서 가장 비용 효율적인 제품의 조달을 통제하고 공급업체에 대한 일회성 지불 징수 및 위험 회피를 목표로 하고 있습니다.
주요 제품: 다이 본더, 와이어 본딩, 레이저 마킹(ID IC 웨이퍼), 레이저 홈 가공, 레이저 절단(유리 세라믹 웨이퍼 포장, 레이저 내부 수정 기계 Si/SIC 쓸림, 레이저 내부 수정 기계 Lt/LN 웨이퍼, 레이저 소방/SIC용 레이저 소둔 열처리 기계, 자동 다이싱 톱 기계(웨이퍼 포장), 자동 실리콘 교부 장비
Q1: 적합한 기계를 어떻게 선택합니까?
A1: 작업 부품 재료, 크기 및 기계 기능 요청을 알려 드릴 수 있습니다. 경험에 따라 가장 적합한 기계를 추천할 수 있습니다.
Q2: 장비의 보증 기간은 얼마입니까?
A2: 1년 보증 및 24시간 온라인 전문 기술 지원
Q3: 적합한 기계를 선택하는 방법
A3 : 기계 기능 요청을 말씀해 주십시오. 경험에 따라 가장 적합한 기계를 추천할 수 있습니다.