| 커스터마이징: | 사용 가능 |
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| 응용 분야: | 항공우주공학, 자동차산업, 전자제품, 해병대, 의료 기기, 석유 및 가스, 발전량생산, 철도 |
| 코팅 재료: | 금속 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터라는 것은 소형화 및 표준화의 특성을 가진 우리 회사가 독자적으로 개발한 고비용의 고성능 마그네론 스퍼터링 코터 장비입니다. 마그네트론 타깃은 1인치 및 2인치 중에서 선택할 수 있으며, 고객은 도금할 기판의 크기에 따라 선택할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 150W DC 전원 공급 장치로, 금속 스퍼터링 코팅에 사용할 수 있습니다. 코팅 장비에는 보호 가스로 채울 수 있는 환기 인터페이스가 장착되어 있습니다. 고객이 가스를 혼합해야 하는 경우, 직원에게 연락하여 실험의 요구에 맞게 고정밀 질량 유량계를 구성할 수 있습니다. 이 기기는 첨단 터보 분자 펌프 세트를 갖추고 있으며, 궁극적인 진공은 1.0E-5Pa, 기타 유형의 분자 펌프도 구매할 수 있습니다.
이 장비는 단일 레이어 Ferroelectric 필름, 전도성 필름, 합금 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 유사한 장비와 비교했을 때 이 단일 표적 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 컴팩트한 디자인으로 매우 통합되었으며 컴팩트한 크기로 테이블 위에 배치하여 사용할 수 있습니다. 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
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제품 이름 |
왕복 샘플 테이블이 있는 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 코터 |
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제품 번호 |
RJ-MSZ180-50F-DC-Q |
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왕복 샘플 표 |
크기 |
50 * 100mm |
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왕복 속도 |
0 ~ 50mm/s |
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마그네트론 표적 총 |
대상 평면 |
원형 평면 대상 |
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퍼터링 진공 |
10Pa ~ 0.2Pa |
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타겟 직경 |
2 인치 |
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대상 두께 |
권장 2 ~ 5mm |
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목표 온도 |
65°C 이하 |
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진공 챔버 |
캐비티 크기 |
약 9mm × H 215mm |
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캐비티 재질 |
고순도 석영 |
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관찰 창 |
전방향 투명도 |
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열기 방법 |
분리형 상단 덮개 |
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전원 공급 장치 |
DC 전원 공급 장치 |
최대 150W |
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수량 |
1 |
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분자 펌프 시스템 |
Foreline 펌프
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로터리 베인 펌프 |
VRD-4 |
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펌핑 속도 |
1L/S |
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최고의 진공 청소기 |
5 * 10 - 1Pa |
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분자 펌프 |
분자 펌핑 속도 |
600L/S |
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정격 속도 |
24,000rpm |
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최고의 진공 청소기 |
5 * 10-5Pa |
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진동 값 |
0.1um 미만 |
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시작 시간 |
4.5분 미만 |
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가동 중지 시간 |
7분 미만 |
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냉각 방법 |
수냉 + 공기 냉각 |
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물 냉각기 |
냉각수 온도 |
37ºC |
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냉각수 유량 |
10L/min |
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공급 전압 |
AC220V 50Hz |
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