| 커스터마이징: | 사용 가능 |
|---|---|
| 보증: | 1년 |
| 정확성: | ¡ À0.6-1퍼센트 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
부록 2 사양 | 모델 | 5800 | |
| 전체 스케일 범위(N2 eqv.) | 2 SCCM- 50 SLM | |
| 제어 밸브 | 보통 닫히거나 정상적으로 열림 | |
| 장착 | 1/4" VCR 또는 1/4" Swagelok 호환 | |
| 씰 | FKM 씰 | FKM |
| 금속/모든 금속 실 | NI | |
| 응답 시간 | 0.8초 이하 | |
| 정확성 | ≥ 25% F.S. | ≤ ±1% S.P. |
| 25% 미만 | ≤ ± 0.25% F.S. | |
| 선형성 | ≤ ±0.5% F.S.(±30SLM: ≤ 1%) | |
| 반복성 | ≤ ±0.1% F.S. | |
| 작동 차동 압력 |
2 SCCM- 5 SLM | 0.05 - 0.28MPa |
| 6 SLM - 50 SLM | 0.1 - 0.28MPa | |
| 누출 무결성 | FKM 씰 | 최대 1x10-9Pa.m3/sec(그이) |
| 금속/모든 금속 실 | 최대 1x10-11Pa.m3/sec(그이) | |
| 제어 범위 | 2-100% F.S. | |
| 최대 작동 압력 | 0.48MPa | |
| 압력 방지 | 1MPa | |
| 통신 유형 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전원 공급 장치 | ±15VDC | 15VDC ± 2% 25mA |
| -15VDC ± 2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| 출력 신호 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전력 소비량 | ±15VDC | 3.1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| 작동 온도 | 5-45도 | |
| 재질 | FKM 씰 | SUS316L, FKM, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 |
| 금속 실 | SUS316L, Ni, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 | |
| 모든 금속 실 | SUS316L, Ni, 전자기 스테인리스 강 | |
| 표면 거칠기 | FKM 씰 | ≤ 5RA |
| 금속 실 | TC, ≤ 5RA | |
| 무게 | 평가 0.8kg | |
| 모델 | 5800 | |
| 전체 스케일 범위(N2 eqv.) | 50 SLM - 150 SLM | |
| 제어 밸브 | 보통 닫히거나 정상적으로 열림 | |
| 장착 | 3/8" VCR 또는 1/2" Swagelok 호환 | |
| 씰 | FKM 씰 | FKM |
| 금속/모든 금속 실 | NI | |
| 응답 시간 | ≤ 2 초 | |
| 정확성 | ≤ ± 1.5% F.S. | |
| 선형성 | ≤ ± 0.5% F.S. | |
| 반복성 | ≤ ±0.2% F.S. | |
| 누출 무결성 | FKM 씰 | 최대 1x10-9Pa.m3/sec(그이) |
| 금속/모든 금속 실 | 최대 1x10-11Pa.m3/sec(그이) | |
| 제어 범위 | 2-100% F.S. | |
| 최대 작동 압력 | 0.48MPa | |
| 압력 방지 | 1MPa | |
| 통신 유형 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전원 공급 장치 | ±15VDC | 15VDC ± 2% 25mA |
| -15VDC ± 2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| 출력 신호 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전력 소비량 | ±15VDC | 3.1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| 작동 온도 | 5-45도 | |
| 재질 | FKM 씰 | SUS316L, FKM, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 |
| 금속 실 | SUS316L, Ni, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 | |
| 모든 금속 실 | SUS316L, Ni, 전자기 스테인리스 강 | |
| 표면 거칠기 | FKM 씰 | ≤ 5RA |
| 금속 실 | TC, ≤ 5RA | |
| 무게 | 평가 1.8kg | |
| 모델 | 5800 | |
| 전체 스케일 범위(N2 eqv.) | 100 SLM- 300 SLM | |
| 제어 밸브 | 보통 닫히거나 정상적으로 열림 | |
| 장착 | 3/8" VCR 또는 1/2" Swagelok 호환 | |
| 씰 | FKM 씰 | FKM |
| 금속/모든 금속 실 | NI | |
| 응답 시간 | ≤ 2 초 | |
| 정확성 | ≤ ± 2% F.S. | |
| 선형성 | ≤ ± 0.5% F.S. | |
| 반복성 | ≤ ±0.2% F.S. | |
| 작동 차동 압력 |
100 SLM - 150 SLM | 0.15Mpa - 0.3MPa |
| 150 SLM- 200 SLM | 0.18Mpa - 0.3MPa | |
| 200 SLM - 300 SLM | 0.21Mpa - 0.3MPa | |
| 누출 무결성 | FKM 씰 | 최대 1x10-9Pa.m3/sec(그이) |
| 금속/모든 금속 실 | 최대 1x10-11Pa.m3/sec(그이) | |
| 제어 범위 | 2-100% F.S. | |
| 최대 작동 압력 | 0.48MPa | |
| 압력 방지 | 1MPa | |
| 통신 유형 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전원 공급 장치 | ±15VDC | 15VDC ± 2% 25mA |
| -15VDC ± 2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| 출력 신호 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전력 소비량 | ±15VDC | 3.1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| 작동 온도 | 5-45도 | |
| 재질 | FKM 씰 | SUS316L, FKM, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 |
| 금속 실 | SUS316L, Ni, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 | |
| 모든 금속 실 | SUS316L, Ni, 전자기 스테인리스 강 | |
| 표면 거칠기 | FKM 씰 | ≤ 5RA |
| 금속 실 | TC, ≤ 5RA | |
| 무게 | 평가 1.93kg | |
| 모델 | 5800 | |
| 전체 스케일 범위(N2 eqv.) | 300 SLM - 2000 SLM | |
| 제어 밸브 | 보통 닫히거나 정상적으로 열림 | |
| 장착 | 3/4" VCR 또는 1" Swagelok 호환 | |
| 씰 | FKM 씰 | FKM |
| 응답 시간 | ≤ 2 초 | |
| 정확성 | ≤ ±2% F.S. | |
| 선형성 | ≤ ± 1% F.S. | |
| 반복성 | ≤ ± 0.25% F.S. | |
| 작동 차동 압력 |
0.25Mpa - 0.7MPa | |
| 누출 무결성 | FKM 씰 | 최대 1x10-9Pa.m3/sec(그이) |
| 제어 범위 | 2-100% F.S. | |
| 최대 작동 압력 | 0.7MPa | |
| 압력 방지 | 3MPa | |
| 통신 유형 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전원 공급 장치 | ±15VDC | 15VDC ± 2% 25mA |
| -15VDC ± 2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| 출력 신호 | 디지털: RS-485/ 아날로그: DC 0-5V | |
| 전력 소비량 | ±15VDC | 3.1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| 작동 온도 | 5-45도 | |
| 재질 | FKM 씰 | SUS316L, FKM, PTFE, 전자기 스테인리스 스틸 |
| 표면 거칠기 | FKM 씰 | ≤ 5RA |
| 금속 실 | TC, ≤ 5RA | |
| 무게 | 평가 5.22kg | |
| 모델 | 디지털 통신 | 58 | |||||||||
| 시리즈 | 표준 모델 | 00 | |||||||||
| 제품 유형 | 흡입 공기량 컨트롤러 | FC | |||||||||
| 질량 유량계 | FM | ||||||||||
| 씰 | FKM | R | |||||||||
| 금속 | M | ||||||||||
| 모든 금속 | T | ||||||||||
| 커뮤니케이션 | 디지털(RS485/Modbus) 및 아날로그 9핀/±15V | RN | |||||||||
| 디지털(RS485/Modbus) 및 아날로그 9핀/12-32V | RV | ||||||||||
| 디지털(RS485/Modbus) 및 아날로그 9핀/±15V LCD | RM | ||||||||||
| 디지털(RS485/Modbus) 및 아날로그 9핀/12-32V LCD | RW | ||||||||||
| 제어 밸브 | 보통 닫혀요 | C | |||||||||
| 보통 열림(* 1) | O | ||||||||||
| 온도 | 표준 5-45도 | S | |||||||||
| 고온 * | H | ||||||||||
| 피팅(* 2) | 1/8" VCR | E2V | |||||||||
| 1/4" VCR | E4V | ||||||||||
| 1/8" Swagelok 호환 | E2S | ||||||||||
| 1/4" Swagelok 호환 | E4S | ||||||||||
| 3/8" Swagelok 호환 | E6S | ||||||||||
| 1/2" Swagelok 호환 | E8S | ||||||||||
| 1" Swagelok 호환 | EGS | ||||||||||
| 6mm LOK | G6S | ||||||||||
| 10mm LOK | GXS | ||||||||||
| 6mm 튜브 빠른 커넥터 | G6T | ||||||||||
| IGS 1.125" C - 씰 | IGC | ||||||||||
| IGS 1.125" W - 씰 | IGW | ||||||||||
| 가스 | 가스 | N2 | |||||||||
| 전체 스케일 | 유량 | 100 SCCM |
| MFC의 예: 5800-FCRRNCS-E4V-N2-100SCCM / MFM: 5800-FMRRNS-E4V-N2-100SCCM |
| (* 1) 맞춤형 모델은 영업 담당자에게 문의하십시오. (* 2) 더 많은 피팅 옵션은 영업 담당자에게 문의하십시오. (* 3) 유속으로 교정됨(N2 eqv.) 표준 온도 및 압력에서 (표준: 0 °C 및 101kPa) (* 4) 5800 디지털 RS-485 모델은 아날로그 모델과 함께 사용할 수 있습니다 (DC 0 - 5V) (* 5) 전기 분해 및 포식 중 더 많은 요구 사항이 있는 경우 영업 담당자에게 문의하십시오. (* 6) 고온 모델의 온도는 사용자 정의할 수 있습니다. |
