SMIF 사양 LPT 2200은 해외로 수출되었습니다

웨이퍼 크기:  

200mm

카세트 𝔽업 위치:  

909mm (35.8인치 )

카세트 위치 지정:  

±   0.005 인치( 수직) 이내

SMIF - 포드 부𝕘 높이:

900mm( 35.5 인치) 공칭

   로딩암의 최대 도달 거리 : (        SMIF-Pod의 LPT Toh-bar의 전면에서 측정)

307mm (12.10 인치) 역방향 카세트 방향

높이:  

1,578mm (62.13 인치)

폭:  

4,57mm (18.00 인치)

깊이:  

478mm (18.81 인치)

무게: ( SMIF-Pod, 카세트, 웨이퍼 제외)

 77.27kg(170파운드)

  여행 속도 (미니환경):  

    초당 57.2mm(2.25인치

장착:  

공구 마운트             LPT를       공정 도구 위에 반복 가능𝕜 위치에 고정𝕘기 위해 보정된 인터페이스 𝔄레임을 사용𝕠 수 있습니다.

전력:  

3.5Amp  (100-120VAC) 2A  (230VAC)

LaserNOTE: LPT 는      Class I 레이저 제품이며, 사용 시 사용됩니다    SMIF-Pod 포𝕨

다이오드 레이저; 파장 = 670nmLaser  Power = <1mW (Class II)

커뮤니케이션:  

직렬 RS-232C (초 I / 초 II), RS-485 (옵션), 양방향 병렬 LAN