유형 |
MSA5 |
MSA1 |
MSA0.5 |
MSA0.2 |
MSA0.1 |
해상도 |
5um |
1um |
0.5um |
0.2um |
0.1um |
최대 작동 속도 |
60m/min |
20m/min |
10m/min |
피치 그레이팅 |
20um |
10um |
출력 신호 |
TTL, RS422 -1Vpp |
그레이팅 측정 시스템 |
적외선 광학전달 시스템, 적외선 파장: 880um |
길이 측정 |
25-600mm |
스캔 장치 롤링 시스템 |
90° 5볼 베어링 롤링 시스템 |
작동 전압 |
5V ±5% DC |
작업 환경 |
온도: -10 ~ 45ºC; 습도 ≤ 90% |
정확성 |
50 ≤ mL ≤ 500mm 표준: ± 5um 정밀: ± 3um
510 ≤ mL ≤ 600mm 표준: ± 8um 정밀: ± 5um |
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