After-sales Service: | Free Installing and Training, Technical Support |
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Warranty: | One Year Limited Warranty |
유형: | PVD Vacuum Coating Machine |
코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 강철 |
인증: | CE, ISO |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
챔버 크기 |
430 × 1000mm |
540 × 1000mm |
700 × 1200mm |
540 × 1500mm |
전원 공급 장치 |
DC 전원 공급 장치, AC 전원 공급 장치, RF 전원 공급 장치, 바이어스 전원 공급 장치 |
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챔버 구조 |
수직 이중 도어, 수직 단일 도어, 수평 단일 도어, 펌핑 시스템 |
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펌핑 시스템 |
KT800/터보 분자 펌프 + 1200 루트 펌프 + 2X-70 mechincal 펌프 * 2세트 |
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진공 |
5 × 10-6 ~ 1.5 x10 - 4mbar |
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펌핑 시간 |
5 × 10-2pa < 6분 |
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제어 시스템 |
마랄 + 반자동 + 완전 자동 통합/터치 스크린 + PLC |
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비고 |
고객의 요구 사항에 따라 챔버 크기를 설계할 수 있습니다. |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체