정밀한 두께 제어 및 균일성 롤바 롤 PECVD 시스템

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• Customized: Non-Customized
• Structure: Desktop
• Material: Stainless Steel
• Certification: CE
• 모델 번호.: CY-R2R-300-PECVD
• Application: School, Lab
• Type: Vacuum Coater
• 이름: PECVD 시스템을 롤링합니다
• 사용: 성장하는 흑연 필름
• 작동 온도: 1100도
• 플라즈마 RF 전원 공급 장치: 500W 조정 가능
• 일치: 자동
• RF 출력 포트: 50Ω, n형
• 질량 유량계: 3채널
• 가스 유량 범위: 0~500 SCCM
• 용광로 크기: 550mm * 380mm * 520mm
• 운송 패키지: Wooden Case
• 사양: Film Applicator
• 등록상표: CYKY
• 원산지: China
• 생산 능력: 500 Sets Per Year

제품 설명

실험실 1200C 플라즈마 강화 화학 증기 탈착 PECVD 튜브 용광로 탄소 나노합성
 

제품 설명

CYKY-PECVD   는 소형 PE-CVD(플라즈마 고급 화학 증기 제거) 튜브 용광로 시스템으로 500W RF 플라즈마 소스, 분할 튜브 용광로, 4채널 정밀 질량 유량계와 가스 혼합 탱크, 고품질 기계 펌프로 구성됩니다. PE-CVD 용광로는 박막 또는 기체 상태(증기)에서 고체 상태로 나노 와이어를 증착하는 이상적인 경제적인 도구이며 SiOx, SiNx, SiOxNy 및 Amorphous 실리콘(a-Si:H) 증착을 비롯한 다양한 물질 증착을 제공합니다.

PECVD 시스템 사양:

 

분할 튜브 용광로	·     최대 작동 온도 1200ºC 60분 미만 ·      연속 가열을 위한 최고 1100ºC ·     30세그먼트 프로그래밍 가능 정밀 디지털 온도 제어기 ·   튜브 직경: 300mm ·     진공 밀폐 플랜지 한 쌍(밸브 포함 O   2" OD x 1.7" ID x 48" 길이   O   3.14" OD x 2.83" ID x 48'' 길이 ·     입력 전원: 208-240V AC 입력, 단상 최대 4kW ·   3-8 구역 분할 튜브 용광로도 추가 비용으로 선택사양입니다
플라즈마 RF 전원 공급 장치	·     출력 전력: 5-500W의 조정과 ±1%의 안정성 ·     RF 주파수: 13.56MHz ± 0.005% 안정성 ·     반사 출력: 최대 200W ·     일치: 자동 ·     RF 출력 포트: 50Ω, N-유형, 암 ·     소음: <50dB.   ·     냉각: 공기 냉각 ·     전원: 208-240VAC, 50/60Hz ·     참고: 이 RF 전원 공급 장치는 플랜지를 변경하여 최대 50-80mm 석영 튜브를 사용할 수 있습니다
부식 방지 압력 게이지	·     3.8x10^-5 ~ 1125 Torr 측정 범위 ·     부식 방지, 가스형 독립
진공 펌프 및 밸브	·     최대 진공 압력 10-2 토르의 하단 케이스에 2단 배기 계통이 장착된 중부하 작업용 로터리 베인 진공 펌프 ·      KFD25 어댑터와 스테인레스강 파이프가 펌프 사이에 연결됩니다 정밀 볼 밸브가 있는 튜브 플랜지 ·      디지털 진공 압력 게이지 및 디스플레이는 와 함께 설치됩니다 용광로
질량 유량계	·     디지털 디스플레이가 장착된 4개의 정밀 질량 유량계(0.02% 정확도)가 하단 케이스에 설치되어 가스 유량을 자동으로 제어합니다. ·     MFC 1: 가스 흐름 범위는 0~100입니다 ·     MFC 2 & 3: 컨트롤 범위는 0~200 SCCM입니다    ·     MFC 4: 컨트롤 범위는 0~500 SCCM입니다 ·     가스 혼합 탱크 하나는 와 함께 하단 케이스에 장착되어 있습니다 액체 배출 밸브 ·     스테인리스 스틸 니들 밸브 4개가 좌측에 설치되어 있습니다 4가지 유형의 가스를 수동으로 혼합하는 하단 케이스 ·     가스 흡입구 피팅: 4 1/4NPS ·     가스 배출구 피팅: 4 1/4NPS
전체 치수	·     용광로: 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H)   ·     하단  모바일 케이스 2개: 1,200mm(L) x 1,200mm(W) x 1,200mm(H) ·     순 무게: 220lbs
보증	1년 제한 보증

회사 프로필

 

 

포장 및 배송

 

판매 후 서비스

당사의 애프터 서비스는 소중한 고객에게 포괄적이고 신뢰할 수 있는 지원을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 제품의 원활한 작동을 보장하고 발생할 수 있는 문제를 해결하기 위해 설계된 다양한 서비스를 제공합니다.

첫째, 당사는 구매 후 특정 기간 내에 발생할 수 있는 결함이나 오작동을 다루는 보증 서비스를 제공합니다. 이러한 문제가 발생할 경우 당사 팀은 제품을 최적의 상태로 복원하기 위해 즉시 수리 또는 교체를 제공합니다.

또한 고객이 제품을 효과적으로 이해하고 운영할 수 있도록 기술 지원을 제공합니다. 숙련된 전문가로 구성된 저희 팀은 모든 질문에 답하거나 설치, 구성 및 사용에 대한 지침을 제공합니다.

또한, 제품의 장기적인 성능을 보장하기 위해 정기적인 유지 관리 서비스도 제공합니다. 여기에는 마모 및 손상 여부 확인, 소프트웨어 또는 펌웨어 업데이트, 필요한 조정 또는 보정 작업이 포함됩니다.

마지막으로, 항상 우수한 고객 서비스를 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 저희 팀은 모든 우려 사항이나 피드백을 신속하고 전문적으로 해결하기 위해 최선을 다하고 있으며, 이는 고객이 당사의 제품 및 서비스를 최대한 이용할 수 있도록 보장합니다.

요약하자면, 당사의 애프터세일즈 서비스는 고객에게 안심할 수 있는 서비스를 제공하고 향후 몇 년 동안 제품이 최적의 상태로 유지되도록 보장합니다. 우리는 고객과 장기적인 관계를 구축하기 위해 노력하고 있으며 고객의 만족도와 성공을 위해 노력합니다.