After-sales Service: | Online Support |
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Warranty: | 1 Year |
유형: | High Pressure Vertical Tube Furnace |
인증: | CE |
구조: | 세로 형 |
상표: | Cyky |
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마그네트론 스퍼터링 시스템의 간단한 소개:
이 장비는 금속 박막을 준비하는 데 사용할 수 있는 이중 표적 마그네트론 퍼터링 코터 장비입니다. 전자, 광학 및 특수 세라믹 전처리의 분야에서 사용됩니다. 실험실 SEM 시료 준비에도 사용할 수 있습니다.
듀얼 헤드 하이 진공 2" 마그네론 플라즈마 스퍼터링 사양 코터 시스템
제품 이름 |
전환 챔버와 함께 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 |
CY-MSP325G-2T-DVC-2DC(이중 진공 챔버) |
설치 조건 |
작동 환경 온도 25ºC ± 15ºC, 습도 55% RH ± 10% RH. 장비 전원 공급 장치: AC220V, 50Hz, 접지 상태가 좋아야 함 3. 정격 출력: 5000w; 4.장비 가스: 장비 챔버는 청소를 위해 아르곤으로 채워야 하며, 고객은 99.99% 이상의 순도로 아르곤을 준비해야 합니다. 5.장소 크기는 1200mm × 1200mm × 2000mm입니다. 6.배치 위치에 따라 통풍이 잘 되고 발열이 잘 됩니다. |
기술 매개변수 |
1.스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 500W x2; 최대 출력 전압 600V, 출력 전류 제한 1000mA 마그넷론 타겟: 2인치 균형 타겟, 자기 커플링 배플, 3.마그네트론 표적에 적합한 대상 재료: φ50mm x 3mm 두께의 전도성 금속 표적재 4.캐비티 크기: 주 캐비티 노즐(325mm x 410mm), 전환 캐비티 150x150x150mm 챔버 기능: 메인 챔버에는 씰링 링으로 씰링된 측면 도어, 배플이 있는 석영 관찰 윈도우 및 샘플 이송을 위한 수동 작동 로드가 장착되어 있습니다. 전환 챔버에는 밀봉 링으로 씰링된 석영 윈도우, 메인 챔버로 시료를 운반하기 위한 자석 커플링 푸시 로드 및 독립 진공 시스템이 있는 상부 커버가 장착되어 있습니다. 6.캐비티 재질: 스테인리스 강 304 7.회전 가열 샘플 테이블: 속도는 1 ~ 20rpm에서 연속적으로 조정되며, 가열 온도는 500°C까지, 가열 속도는 10°C/분으로 설정하는 것이 좋습니다. 최대 온도는 20°C/분입니다 8.냉각 방법: 마그넷론 표적과 분자 펌프에는 순환 수냉기가 필요합니다 . 9.물 냉각기: 물 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 10.가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 유형 AR 가스, 유량 1 ~ 200scm(사용자 지정 가능) 11.유량계 정확도: ±1.5% 범위 진공 챔버의 펌핑 인터페이스는 CF160입니다. 13.흡기 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰 조인트임; 14. 디스플레이는 산업용 컴퓨터 올인원 컴퓨터 14대입니다. 15.스퍼터링 전류를 조절할 수 있으며, 스퍼터링 세이프 전류 값과 안전한 진공 값을 설정할 수 있다. 16.안전 보호: 과전류 및 진공 상태가 너무 낮으면 스퍼터링 전류가 자동으로 차단됩니다. 17.진공 시스템: 주 챔버에는 펌핑 속도가 600L/s인 CY-GZK103 고압 진공 분자 펌프가 장착되어 있습니다. 전이 챔버에는 펌프 속도가 60L/s인 소형 분자 펌프가 장착되어 있습니다 두 세트의 진공 시스템은 독립적으로 작동하고 제어할 수 있으며 , 챔버와 진공 시스템 사이의 공압 밸브는 모두 프로그램에 의해 제어되며, 편리하고 빠른 원키 동작을 실현할 수 있습니다. 18.최고의 진공: 5E-4Pa(분자 펌프 포함); 19. 진공 측정은 복합 진공 게이지이며 범위는 10-5Pa~105Pa입니다 |
주의 사항 |
1.산소 없는 환경을 더 높은 수준으로 유지하기 위해서는 진공 챔버를 3번 이상 고순도 불활성 가스로 청소해야 합니다. 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron sputtering)은 흡기 부피에 더 민감하며 흡입 공기량을 조절하려면 질량 유량계를 사용해야 합니다. 3.장비를 사용하지 않을 때는 캐비티를 진공 상태로 유지하십시오. 장기간 진공 청소가 되지 않은 경우 진공 성능을 향상시키기 위해 다시 사용할 때 탈기를 해야 합니다. |
옵션 액세서리 |
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필름 두께 모니터 |
1.필름 두께 해상도: 0.0136Å(알루미늄) 2.필름 두께 정확도: ±0.5%, 공정 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다름 3.측정 속도: 100ms-1s/time, 측정 범위: 500000Å (알루미늄) 4.표준 센서 크리스털: 6MHz 적용 가능한 칩 주파수: 6MHz 적용 가능한 칩 크기: 9mm 장착 플랜지: CF35 |
기타 액세서리 |
1.CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~105Pa 포함); CY-GZK60 시리즈 소형 분자 펌프 세트(화합물 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~102Pa) VRD-4 양극 로터리 베인 진공 펌프 KF25/40 진공 벨로우즈; 길이는 0.5m, 1m, 1.5m일 수 있음; KF25 클램프 브래킷 필름 두께 미터의 Crystal 발진기; |
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. - Henan 주 정저우에 등록된 첨단 신기술 기업 정저우 CY Scientific Instrument Co., Ltd 는 주로 과학 연구에 사용되는 장비의 연구, 개발, 설계 및 제조에 참여하고 있습니다.
에어 프로덕츠의 주요 제품에는 실험용 머플 용광로, 튜브 용광로, 치과로, 진공로, 금 용광로, SiC 가열 엘리먼트, MoSi2 가열 엘리먼트, 알루미늄 튜브 및 도가니 등과 같은 고온 용광로와 가열 소자가 있습니다
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