• 진공 마그네론 스퍼터링 코터 - 투과 및 샘플 챔버 바디
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진공 마그네론 스퍼터링 코터 - 투과 및 샘플 챔버 바디

After-sales Service: Online Support
Warranty: 1 Year
유형: High Pressure Vertical Tube Furnace
인증: CE
구조: 세로 형
상표: Cyky

공급 업체에 문의

Mr. Wang
Manager
다이아몬드 회원 이후 2016

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Manufacturer/Factory & Trading Company
  • 개요
  • 제품 설명
  • 제품 매개변수
  • 상세 사진
  • 회사 프로필
개요

기본 정보

모델 번호.
CY-MSG-DCRF-TR-M
Max. Temperature
500c Max
Sputtering Gun
2 Inches
Product Name
Magnetron Sputtering Coater
Vacuum Pump
Turbo Vacuum Pump Set
Pump Speed
600L/S
Target Gun Diameter
2 Inches
Vacuum Level
5*10-4PA
운송 패키지
Wooden Case
사양
high pressure vertical tube furnace
등록상표
CYKY
원산지
China
세관코드
85141090
생산 능력
500 Sets Per Month

제품 설명

제품 설명

 

마그네트론 스퍼터링 시스템의 간단한 소개:

 

이 장비는 금속 박막을 준비하는 데 사용할 수 있는 이중 표적 마그네트론 퍼터링 코터 장비입니다. 전자, 광학 및 특수 세라믹 전처리의 분야에서 사용됩니다. 실험실 SEM 시료 준비에도 사용할 수 있습니다.  

 

제품 매개변수

듀얼 헤드 하이 진공 2" 마그네론 플라즈마 스퍼터링 사양 코터 시스템

 

 

제품 이름

 전환 챔버와 함께 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

제품 모델

CY-MSP325G-2T-DVC-2DC(이중 진공 챔버)

설치 조건

 작동 환경 온도 25ºC ± 15ºC, 습도 55% RH ± 10% RH.

 장비 전원 공급 장치: AC220V, 50Hz, 접지 상태가 좋아야 함

 3. 정격 출력: 5000w;

 4.장비 가스: 장비 챔버는 청소를 위해 아르곤으로 채워야 하며, 고객은 99.99% 이상의 순도로 아르곤을 준비해야 합니다.

 5.장소 크기는 1200mm × 1200mm × 2000mm입니다.

 6.배치 위치에 따라 통풍이 잘 되고 발열이 잘 됩니다.

기술 매개변수

 1.스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 500W x2; 최대 출력 전압 600V, 출력 전류 제한 1000mA

 마그넷론 타겟: 2인치 균형 타겟, 자기 커플링 배플,

 3.마그네트론 표적에 적합한 대상 재료: φ50mm x 3mm 두께의 전도성 금속 표적재

 4.캐비티 크기: 주 캐비티 노즐(325mm x 410mm), 전환 캐비티 150x150x150mm

 챔버 기능: 메인 챔버에는 씰링 링으로 씰링된 측면 도어, 배플이 있는 석영 관찰 윈도우 및 샘플 이송을 위한 수동 작동 로드가 장착되어 있습니다. 전환 챔버에는 밀봉 링으로 씰링된 석영 윈도우, 메인 챔버로 시료를 운반하기 위한 자석 커플링 푸시 로드 및 독립 진공 시스템이 있는 상부 커버가 장착되어 있습니다.

 6.캐비티 재질: 스테인리스 강 304

 7.회전 가열 샘플 테이블: 속도는 1 ~ 20rpm에서 연속적으로 조정되며, 가열 온도는 500°C까지, 가열 속도는 10°C/분으로 설정하는 것이 좋습니다. 최대 온도는 20°C/분입니다

 8.냉각 방법: 마그넷론 표적과 분자 펌프에는 순환 수냉기가 필요합니다 .

 9.물 냉각기: 물 탱크 용량 9L, 유량 10L/min

10.가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 유형 AR 가스, 유량 1 ~ 200scm(사용자 지정 가능)

11.유량계 정확도: ±1.5% 범위

 진공 챔버의 펌핑 인터페이스는 CF160입니다.

 13.흡기 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰 조인트임;

14. 디스플레이는 산업용 컴퓨터 올인원 컴퓨터 14대입니다.

 15.스퍼터링 전류를 조절할 수 있으며, 스퍼터링 세이프 전류 값과 안전한 진공 값을 설정할 수 있다.

 16.안전 보호: 과전류 및 진공 상태가 너무 낮으면 스퍼터링 전류가 자동으로 차단됩니다.

 17.진공 시스템: 주 챔버에는 펌핑 속도가 600L/s인 CY-GZK103 고압 진공 분자 펌프가 장착되어 있습니다. 전이 챔버에는 펌프 속도가 60L/s인 소형 분자 펌프가 장착되어 있습니다  두 세트의 진공 시스템은 독립적으로 작동하고 제어할 수 있으며 , 챔버와 진공 시스템 사이의 공압 밸브는 모두 프로그램에 의해 제어되며, 편리하고 빠른 원키 동작을 실현할 수 있습니다.

18.최고의 진공: 5E-4Pa(분자 펌프 포함);

19. 진공 측정은 복합 진공 게이지이며 범위는 10-5Pa~105Pa입니다

주의 사항

 1.산소 없는 환경을 더 높은 수준으로 유지하기 위해서는 진공 챔버를 3번 이상 고순도 불활성 가스로 청소해야 합니다.

 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron sputtering)은 흡기 부피에 더 민감하며 흡입 공기량을 조절하려면 질량 유량계를 사용해야 합니다.

 3.장비를 사용하지 않을 때는 캐비티를 진공 상태로 유지하십시오.

 장기간 진공 청소가 되지 않은 경우 진공 성능을 향상시키기 위해 다시 사용할 때 탈기를 해야 합니다.

옵션 액세서리

필름 두께 모니터

1.필름 두께 해상도: 0.0136Å(알루미늄)

2.필름 두께 정확도: ±0.5%, 공정 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다름

 3.측정 속도: 100ms-1s/time, 측정 범위: 500000Å (알루미늄)

 4.표준 센서 크리스털: 6MHz

 적용 가능한 칩 주파수: 6MHz 적용 가능한 칩 크기: 9mm 장착 플랜지: CF35

기타 액세서리

 1.CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~105Pa 포함);

CY-GZK60 시리즈 소형 분자 펌프 세트(화합물 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~102Pa)

VRD-4 양극 로터리 베인 진공 펌프

 KF25/40 진공 벨로우즈; 길이는 0.5m, 1m, 1.5m일 수 있음; KF25 클램프 브래킷

 필름 두께 미터의 Crystal 발진기;


 

상세 사진

High Vacuum Magnetron Sputtering Coater with Transmission and Samples Chamber BodyHigh Vacuum Magnetron Sputtering Coater with Transmission and Samples Chamber BodyHigh Vacuum Magnetron Sputtering Coater with Transmission and Samples Chamber Body

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회사 프로필

Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. - Henan 주 정저우에 등록된 첨단 신기술 기업  정저우 CY Scientific Instrument Co., Ltd   는 주로 과학 연구에 사용되는 장비의 연구, 개발, 설계 및 제조에 참여하고 있습니다.
에어 프로덕츠의  주요 제품에는 실험용 머플 용광로, 튜브 용광로, 치과로, 진공로, 금 용광로, SiC 가열 엘리먼트, MoSi2 가열 엘리먼트, 알루미늄 튜브 및 도가니 등과 같은 고온 용광로와 가열 소자가 있습니다



 

 


 

 

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등록 자본
75379.11 USD
지불 조건
LC, T/T, D/P, Western Union