클린룸은 작은 입자가 제조 공정에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 거의 모든 산업에서 사용됩니다. 크기와 복잡성은 다양하며 반도체 제조, 제약, 생명공학, 의료 기기 및 생명과학 등의 산업뿐만 아니라 항공 우주, 광학, 군사 및 에너지학부에서 흔히 볼 수 있는 중요한 공정 제조에도 광범위하게 사용됩니다.
클린룸은 미립자 오염을 줄이고 온도, 습도, 압력 등의 기타 환경 변수를 제어하기 위한 조항이 있는 모든 포함된 공간입니다. 주요 구성 요소는 0.3마이크론 이상의 입자를 걸러내는 데 사용되는 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터입니다. 클린룸으로 공급되는 모든 공기는 HEPA 필터를 통과하며, 청결 성능이 엄격한 경우에는 초저미립자 공기(ULPA) 필터가 사용됩니다.
클린룸에서 작업하기로 선택한 직원은 오염 통제 이론에 대한 광범위한 교육을 받습니다. 공기 잠금장치, 공기 샤워 및/또는 보호실을 통해 청정실에 출입하며, 피부와 신체에 의해 자연적으로 발생하는 오염물질을 트랩하기 위해 설계된 특수 의류를 착용해야 합니다.
객실 등급이나 기능에 따라, 보호자는 랩코트와 헤어네트만큼 제한적일 수도 있고, 자급식 호흡 장치가 있는 다층식 토끼 정장에 완전히 포개져 있을 수도 있습니다.
청정실 의류는 착용자의 신체에서 물질이 배출되지 않도록 하고 환경을 오염시키는 데 사용됩니다. 청정실 의복 자체는 사람이 환경을 오염하지 않도록 입자나 섬유를 방출해서는 안 됩니다. 이러한 유형의 인력 오염은 반도체 및 제약 산업의 제품 성능을 저하시킬 수 있으며 의료 종사자와 의료 업계의 환자 간에 교차 감염을 유발할 수 있습니다.
청정실 의류에는 부츠, 신발, 앞치마, 턱수염 커버, 부퍼트 캡, 작업복, 안면 마스크, 프로크/랩 코트,
가운, 장갑, 손가락 코트, 헤그 네트, 후드, 소매와 신발 커버. 사용된 클린룸 의류의 유형은 클린룸 및 제품 사양을 반영해야 합니다. 낮은 수준의 클린룸은 먼지 또는 먼지가 묻지 않는 완전히 부드러운 밑창이 있는 특별한 신발만 필요로 할 수 있습니다. 그러나 신발 하의는 항상 안전이 우선하기 때문에 미끄러짐 위험을 발생해서는 안 됩니다. 클린룸 입실에는 일반적으로 청정실이 필요합니다. 10, 000개의 클린룸은 단순한 스모크, 헤드 커버, 부티를 사용할 수 있습니다. 10등급 클린룸의 경우, 옷에 지퍼가 달린 조심스러운 가운 착용 절차, 부츠, 장갑 및 방독면 외함이 필요합니다.
클래스 |
최대 입자/m3 |
표준 209E로 공급
동급 |
0.1 µm 이상 |
> = 0.2 µm |
> = 0.3µm |
> = 0.5 µm |
= 1 µm |
> = 5 µm |
ISO 1 |
10 |
2 |
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ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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|
ISO 3 |
1, 000명 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
1등급 |
ISO 4 |
10, 000명 |
2, 370 |
1, 020 |
352 |
83 |
|
10등급 |
ISO 5 |
100, 000원 |
23, 700 |
10, 200 |
3, 520 |
832 |
29 |
등급 100 |
ISO 6 |
1, 000, 000 |
237, 000 |
102, 000 |
35, 200 |
8, 320 |
293 |
1, 000등급 |
ISO 7 |
|
|
|
352, 000 |
83, 200 |
2, 930 |
10, 000등급 |
ISO 8 |
|
|
|
3, 520, 000 |
32, 000개 |
29, 300 |
100, 000등급 |
ISO 9 |
|
|
|
35, 200, 000 |
8, 320, 000 |
293, 000명 |
객실 공기 |